[发明专利]外涂线栅偏振器

权利要求书

1.一种线栅偏振器(WGP)，该线栅偏振器包括：

位于透明基板的面的上方的线材阵列，该线材阵列是大致平行且长形的，在相邻线材之间具有通道；

该线材阵列中的每根线材具有基部位于最靠近该基板的位置、远端位于最远离该基板的位置的截面轮廓、以及相对的侧边，这些侧边分别面向该线材的相对侧边上的这些通道并从该基部延伸至该远端；

外涂层，该外涂层位于该线材阵列的远端并且跨越这些通道；以及

保形涂层，该保形涂层包括水分阻挡层，该水分阻挡层在这些线材与该外涂层之间涂覆这些线材的侧边以及这些线材的远端。

2.如权利要求1所述的WGP，其中该保形涂层进一步包括位于该水分阻挡层与这些线材之间的不同于这些线材的氧化铝层。

3.如权利要求1所述的WGP，进一步包括：位于该外涂层上方的减反射层。

4.如权利要求1所述的WGP，其中该外涂层包括氧化铝。

5.如权利要求1所述的WGP，进一步包括：位于该外涂层上方的减反射层，并且其中，该外涂层包括氧化铝。

6.如权利要求1所述的WGP，其中该WGP能够在制造之后立刻经受300℃下的168小时耐久性试验，其中Ts增加小于百分之0.005。

7.如权利要求1所述的WGP，其中该WGP能够在制造之后立刻经受300℃下的168小时耐久性试验，其中Rs退化小于0.5％。

8.如权利要求1所述的WGP，其中该WGP能够在制造之后立刻经受300℃的168小时耐久性试验，其中100个WGP上的Ts增加平均小于百分之0.005。

9.如权利要求1所述的WGP，其中该WGP形成图像投影仪的一部分，该图像投影仪包括：

能够发射光束的光源；

空间光调制器，该空间光调制器被定位成接收该光束的至少一部分；并且具有多个像素，每个像素能够接收信号并且基于该信号对该光束的至少一部分进行传输而不会致使偏振改变或使该光束的至少一部分的偏振旋转；

该WGP在进入该空间光调制器之前、在离开该空间光调制器之后或在这两种情况下都位于该光束的至少一部分中。

10.如权利要求1所述的WGP，其中：

该外涂层沿这些线材的侧边从该远端向下延伸至该基部，该外涂层包括在10纳米与100纳米之间的厚度；并且

这些通道是充满空气的。