[发明专利]卡盘

权利要求书

1.一种卡盘，在其正面具有径向滑动支承工件的多个卡爪，

该卡盘包括卡盘主体、中心盖、以及防尘罩；其特征在于，

所述卡盘主体包括其正面上的多个滑槽；其中，

所述滑槽从所述卡盘主体的中央部向径向外侧延伸，使每个所述卡爪以可滑动的方式嵌合；

所述中心盖以遮盖所述卡盘主体的正面中央部的方式，安装在所述卡盘主体上；

所述防尘罩以遮盖所述滑槽的方式，安装在每个所述卡爪中央侧的端部上，且被构成为在所述卡盘主体的正面上滑动；

在每个所述卡爪支承工件的支承位置上，构成为所述防尘罩突出端部进入到所述中心盖周缘部的里侧。

2.根据权利要求1所述的卡盘，其特征在于，在每个所述卡爪滑动移位的全部位置，构成为防尘罩的突出端部进入到所述中心盖周缘部的里侧。

3.根据权利要求1或权利要求2所述的卡盘，其特征在于，

所述卡盘主体还包括流体供给通道、喷出通道；其中，

所述流体供给通道向所述中心盖的下方供给流体，

所述喷出通道与所述流体供给通道相连通，并且朝向所述中心盖周缘部的里侧，

构成为能够从所述中心盖周缘部里侧向外部喷出流体。

4.根据权利要求3所述的卡盘，其特征在于，还包含尖的倾斜部和逆倾斜面；其中，

所述倾斜部，在所述防尘罩突出端部上，设置为随着朝向突出端其表面靠近所述卡盘主体，

所述逆倾斜面，在所述中心盖周缘部的里侧，设置为随着朝向边缘逐渐远离所述卡盘主体，构成为能够通过所述倾斜部的表面与所述逆倾斜面之间的缝隙喷出流体。

5.根据权利要求3所述的卡盘，其特征在于，

所述喷出通道具有至少一个导出通道，

所述导出通道在所述卡盘主体的中央部与所述流体供给通道连通且朝向所述卡爪沿径向向外延伸，

从正面看所述卡盘时，所述导出通道构成为相对于所述卡爪的中心线，向所述卡盘旋转方向的前方以规定的角度倾斜地延伸。

6.根据权利要求1或权利要求2所述的卡盘，其特征在于，

所述防尘罩的突出端部按压于所述卡盘主体的正面。

7.根据权利要求1或权利要求2所述的卡盘，其特征在于，

所述防尘罩具有突出部，其中，

所述突出部从所述卡爪中央侧的端部向侧方突出，

该突出部的表面位于所述卡盘旋转方向的前方且包括倾斜面，

所述倾斜面构成为随着朝向突出端逐渐靠近所述卡盘主体。