[发明专利]流量比率控制装置、存储有流量比率控制装置用程序的程序存储介质及流量比率控制方法

权利要求书

1.一种流量比率控制装置，其特征在于，

所述流量比率控制装置包括：

主流道；

多个分支流道，从所述主流道的末端分支；

多个流体控制装置，设于各个所述分支流道上，分别包括阀以及配置于所述阀的下游侧的压力式的流量传感器；

目标接收部，接收目标流量比率，所述目标流量比率是在各个所述分支流道中流动的流体的流量的分配比率；

目标流量计算部，基于由各个所述流量传感器测量的在各个所述分支流道中流动的流体的测量流量的总和以及所述目标流量比率，计算出各个所述分支流道的目标流量；以及

动作设定部，基于所述目标流量比率进行设定，以使多个流体控制装置中的任意一个流体控制装置以流速控制模式进行动作，并且使以流速控制模式进行动作的所述一个流体控制装置以外的流体控制装置以流量控制模式进行动作，所述流速控制模式是用于对比各个所述阀更靠上游侧的流体的流速进行控制的模式，所述流量控制模式是基于所述目标流量来控制流量的模式。

2.根据权利要求1所述的流量比率控制装置，其特征在于，所述动作设定部构成为基于所述目标流量比率使设于流量比最大的分支流道上的流体控制装置以所述流速控制模式进行动作。

3.根据权利要求1所述的流量比率控制装置，其特征在于，

所述流量比率控制装置还包括：

主压力传感器，设置在比各个所述阀更靠上游侧；以及

流速计算部，基于由所述主压力传感器测量的流体压力、由所述流量传感器测量的在各个所述分支流道中流动的流体的测量流量的总和、以及所述主流道的截面面积，计算出流体的流速。

4.根据权利要求3所述的流量比率控制装置，其特征在于，

所述流速计算部构成为将计算出的流速输出至外部，

被设定为所述流速控制模式的流体控制装置接收目标开度并对所述阀进行控制，以使该阀的开度成为所述目标开度，

被设定为所述流量控制模式的流体控制装置对所述阀进行控制，以使所述目标流量与由所述流量传感器测量的测量流量的偏差变小。

5.根据权利要求1所述的流量比率控制装置，其特征在于，

各个所述阀具备位置传感器，所述位置传感器对阀体相对于阀座的位置进行测量。

6.根据权利要求5所述的流量比率控制装置，其特征在于，

所述流量比率控制装置还包括：

设定存储部，当在各个所述分支流道中流动的流体的流量比率稳定在所述目标流量比率时，存储稳定状态开度数据，所述稳定状态开度数据是将所述目标流量比率和稳定在所述目标流量比率的状态下的各个所述阀的所述位置传感器的输出取得了关联的数据；以及

前馈控制部，当包含与所述目标接收部接收到的目标流量比率相同的目标流量比率的稳定状态开度数据存在时，控制各个所述阀的开度，以使各个所述阀的开度在流量比率控制开始时成为所述稳定状态开度数据的各个所述阀的所述位置传感器的输出。

7.根据权利要求1所述的流量比率控制装置，其特征在于，从所述主流道到各个所述分支流道的各个所述阀为止的流道的流导大致固定。