[发明专利]可控粘结片材的制品及其制造方法

说明书

本文所述的是制品和制品的制造方法，包括第一片材和第二片材，其中，薄片和载体采用涂层(优选是烃聚合物涂层)粘结到一起，以及相关的沉积方法和惰性气体处理，其可以施加到一个或两个片材上，以控制片材之间的范德华键合、氢键键合和共价键合。涂层将片材粘结到一起，以防止在高温加工下形成永久粘结，同时维持足够的粘结以防止高温加工过程中的脱层。

相关申请的交叉参考

本申请根据35U.S.C.§119，要求2016年08月31日提交的美国临时申请系列第62/381,731号的优先权，本文以该申请为基础并将其全文通过引用结合于此。

技术领域

本公开一般地涉及用于包含载体上的片材的制品和在载体上制造片材的方法，更具体地，涉及用于包含可控粘结到玻璃载体上的挠性玻璃片的制品和制造可控粘结到玻璃载体上的挠性玻璃片的方法。

背景

挠性基材材料提供采用卷-卷加工的更廉价装置的制造可能性，以及制造更薄、更轻、更为灵活和耐用的显示器的潜力。但是，尚未完全建立高质量显示器的卷-卷加工所需的技术、设备和工艺。因为面板制造商已经大量投入用于加工大型玻璃片的成套工具，将挠性基材层叠到载体并通过片-片加工在挠性基材上制造显示器装置，这提供了开发更薄、更轻和更为灵活的显示器的有价值计划的较短期解决方案。已经验证了在聚合物片(例如聚萘二甲酸乙二醇酯(PEN))上的显示器，其中装置制造是PEN层叠到玻璃载体的片-片形式。但是，PEN的温度上限限制了装置质量和可以使用的工艺。此外，聚合物基材的高可透过性导致有机发光二极管(OLED)装置的环境降解，需要近乎气密的封装。薄膜封装提供了克服该限制的可能性，但是尚未证实其在大体积也能提供可接受的产率。

以类似的方式，可以采用层叠到一块或多块薄的玻璃基材的玻璃载体来制造显示器装置。预期薄玻璃的低可透过性、改善的温度和化学抗性能够实现更高性能、更长寿命的挠性显示器。

在低温多晶硅(LTPS)装置制造过程中，例如，对于通常接近600℃或更高的温度，也可以使用真空和湿蚀刻环境。这些条件限制了可使用的材料，并且对于载体/薄片提供了高要求。因此，需要这样的载体方法，其采用制造商现有的投资设备，实现了薄玻璃(厚度≤0.3毫米(mm)的玻璃)的加工，而不发生污染或者有损较高加工温度下薄玻璃与载体之间的粘结强度，并且其中，在加工的最后，薄玻璃易于从载体进行脱粘结。

一个商业化优势是制造商将能使用它们现有加工设备的基建投资，同时获得用于例如光伏(PV)结构、OLED、液晶显示器(LCD)和图案化薄膜晶体管(TFT)电子件的薄玻璃片的益处。此外，此类方法实现了加工灵活性包括：薄玻璃片和载体的清洁和表面制备的工艺，以促进粘结。

已知粘结方法的挑战在于用于加工多晶硅TFT的高温。手持式显示器、笔记本和桌面显示器对于更高像素密度、高分辨率和快速刷新率的需求以及更为广泛使用的OLED显示器，正推动面板制造商从无定形硅TFT背板转向氧化物TFT或多晶硅TFT面板。因为OLED是电流驱动装置，需要高迁移率。多晶硅TFT还提供了整合驱动和其他组分活化的优势。在多晶硅TFT工艺中，对于掺杂剂活化，优选较高温度(理想地，超过600℃的温度)。

发明内容