[发明专利]测试装置

说明书

公开一种测试装置。所述测试装置包括：测试座，被配置成支撑多个探针；测试电路基板，包括用于接触所述探针的接触点；滑动件，使所述测试座耦合至所述测试电路基板及自所述测试电路基板分离；以及滑动件操作器，包括主体及滑动件按压部，所述主体配置在所述测试座上，所述滑动件按压部以能够上下移动的方式支撑于所述主体上且自所述主体朝所述滑动件向下移动以使所述滑动件能够沿所述测试座的表面方向滑动。

技术领域

本发明涉及一种用于测试例如半导体等待测试物体的电性特性的测试装置，尤其涉及一种用于操作滑动件以使测试座耦合至测试电路基板及自所述测试电路基板分离的滑动件操作器。

背景技术

用于测试半导体芯片的测试座被用于在半导体芯片的端子与用于施加测试信号的测试电路基板的接触点之间达成电性连接。此种测试座内部设置有测试探针，以使半导体芯片的端子可电性连接至测试电路基板的接触点。为稳定地执行测试，通过扣紧螺钉或类似方式将测试座耦合至测试电路基板。

另外，出于维修或类似原因，可能需要将通过此种方式而耦合的测试座自基板分离。在此种情形中，使扣紧螺钉松开、将测试座自基板分离、将新的座耦合至所述基板等操作会造成不便。

为解决此问题，本发明人已提出一种通过具有锁定单元的滑动件来使测试座耦合至测试电路基板及自所述测试电路基板分离的测试装置(韩国专利申请案第10-2016-0038495)。此时，具有例如20毫米(mm)×20毫米×4.5毫米的尺寸的测试座被安装至测试座安装框架中的凹槽。然而，在测试座安装至小的凹槽的同时手动处理此种非常微小的测试座是非常不便且难以达成的。

发明内容

技术问题

本发明旨在解决前述问题，且本发明的实施方式是提供一种具有滑动件操作器来方便地操作滑动件以使测试座耦合至测试电路基板及自所述测试电路基板分离的测试装置。

技术手段

根据本发明的实施例，提供一种测试装置，所述测试装置包括：测试座，被配置成支撑多个探针；测试电路基板，包括用于接触所述探针的接触点；滑动件，使所述测试座耦合至所述测试电路基板及自所述测试电路基板分离；以及滑动件操作器，包括主体及滑动件按压部，所述主体配置在所述测试座上，所述滑动件按压部以能够上下移动的方式支撑于所述主体上且自所述主体朝所述滑动件向下移动以使所述滑动件能够沿所述测试座的表面方向滑动。

所述滑动件按压部可包括向内按压部及向外按压部，所述向内按压部使所述滑动件朝所述测试座的内侧移动，所述向外按压部使所述滑动件朝所述测试座的外侧移动。

所述滑动件可包括第一倾斜表面及第二倾斜表面，所述第一倾斜表面自所述测试座的外侧至内侧向上倾斜，所述第二倾斜表面与所述第一倾斜表面间隔开且自所述测试座的所述内侧至所述外侧向上倾斜，所述向内按压部可包括将与所述第一倾斜表面接触的第三倾斜表面，且所述向外按压部可包括将与所述第二倾斜表面接触的第四倾斜表面。

所述滑动件可移动以使所述测试电路基板被锁定至所述测试座以及自所述测试座释放。

所述测试电路基板可包括多个支撑锁定销，所述多个支撑锁定销被扣紧至所述测试电路基板的表面且自所述测试电路基板的所述表面向上突出，且所述支撑锁定销包括沿突出方向的锁定保持器及沿所述突出方向位于前端部处的锁定止挡件，所述测试座可包括：座主体，所述座主体具有销贯穿孔，所述支撑锁定销穿过所述销贯穿孔；以及浮动板，所述浮动板具有销引导孔，所述支撑锁定销被插入所述销引导孔中，且所述浮动板被耦合至所述座主体且在所述座主体上方预定高度处浮动，所述滑动件可包括锁定部，所述锁定部与被插入所述销贯穿孔及所述销引导孔中的所述支撑锁定销的所述锁定保持器啮合，且通过所述锁定止挡件阻止所述锁定部向上分离，且所述滑动件按压部可包括：锁定按压部，用于在锁定方向上按压所述滑动件以使所述锁定部能够啮合所述锁定保持器；以及解锁按压部，用于在与所述锁定方向相反的方向上按压所述滑动件以使被锁定的所述锁定部能够自所述锁定保持器释放。