[发明专利]液体材料吐出装置、其涂布装置及涂布方法

权利要求书

1.一种液体材料吐出装置，其特征在于，

具备：

贮存容器，其贮存液体材料；

压缩气体供给源，其对贮存容器进行加压；

喷嘴，其具有吐出流路；

进行往返动作的阀杆；

致动器，其驱动阀杆；

阀座，其具有与吐出流路连通的连通孔；及

吐出控制装置，其控制致动器并利用阀杆的下端对连通孔进行开闭，

所述液体材料吐出装置在负压空间内使用，

所述液体材料吐出装置具备被配置于所述阀座的上表面且具有与所述连通孔连通的贯通孔的树脂膜、及具有插装有所述贮存容器的下端部的凹部且设置有所述喷嘴的喷嘴安装构件，

所述阀座由被机械性地固定且具有平坦的上表面的阀座构件所构成，并且能够进行更换，

所述树脂膜被机械性地固定，并且能够进行更换，

所述树脂膜的厚度为所述阀座构件的厚度的1/10以下，

利用安装于所述喷嘴安装构件的凹部的阀座构件和所述贮存容器的前端，所述树脂膜被机械性地固定。

2.如权利要求1所述的液体材料吐出装置，其特征在于，

所述阀座构件由通过所述阀杆的按压不产生变形的材质所构成。

3.如权利要求1或2所述的液体材料吐出装置，其特征在于，

所述树脂膜具有10～1000μm的厚度。

4.如权利要求1或2所述的液体材料吐出装置，其特征在于，

所述阀杆的下端或所述阀座构件的上表面与所述树脂膜面接触。

5.如权利要求4所述的液体材料吐出装置，其特征在于，

所述阀杆的下端为平面，且所述阀座构件的上表面为平面。

6.如权利要求1或2所述的液体材料吐出装置，其特征在于，

所述树脂膜由工程塑料所构成。

7.如权利要求6所述的液体材料吐出装置，其特征在于，

所述阀杆的下端及所述阀座构件由金属所构成。

8.如权利要求1或2所述的液体材料吐出装置，其特征在于，

所述吐出控制装置将利用所述致动器的阀杆的上升时的加速时间A_u控制在2～300ms的范围内。

9.如权利要求8所述的液体材料吐出装置，其特征在于，

所述吐出控制装置将利用所述致动器的阀杆的上升时的目标速度V₁控制在0.2～30mm/s的范围内，且/或将利用所述致动器的阀杆的下降时的加速时间A_d控制在2～300ms的范围内。

10.如权利要求1或2所述的液体材料吐出装置，其特征在于，

所述阀杆经由滑动构件而与致动器连接，

具备：位置检测机构，其具备检测所述滑动构件位于规定的位置的传感器机构，通过检测所述滑动构件的位置而检测所述阀杆的下端位于抵接于所述阀座的位置。

11.如权利要求10所述的液体材料吐出装置，其特征在于，

具备：

杆连动构件，其与所述阀杆相连接，可分离地抵接并配置于滑动构件；及

弹性构件，其赋予使杆连动构件与滑动构件可分离地抵接的作用力，

在所述阀杆抵接于所述阀座之后，在通过所述致动器作用使所述阀杆进一步前进的力时，所述滑动构件与所述杆连动构件分离而朝下方移动，通过传感器机构检测该滑动构件的移动，从而检测所述阀杆的下端位于抵接于所述阀座的位置。