[发明专利]法布里-帕罗干涉滤光器的制造方法

权利要求书

1.一种法布里-帕罗干涉滤光器的制造方法，其特征在于，

包括：

形成工序，其在沿多条线的各个切断成多个基板的预定的晶圆的第1主面，将具有分别作为固定镜而发挥功能的预定的多个第1镜部的第1镜层、具有多个去除预定部的牺牲层、以及具有分别作为可动镜而发挥功能的预定的多个第2镜部的第2镜层，以1个所述第1镜部、1个所述去除预定部、及1个所述第2镜部自1个所述基板侧按1个所述第1镜部、1个所述去除预定部、及1个所述第2镜部的顺序配置的方式进行形成，且形成所述第1镜层、所述牺牲层、及所述第2镜层的至少一者沿多条所述线的各个部分地薄化而成的第1薄化区域；

切断工序，其在所述形成工序之后，利用激光的照射，沿多条所述线的各个在所述晶圆的内部形成改质区域，且自所述改质区域沿所述晶圆的厚度方向使龟裂伸展，由此沿多条所述线的各个将所述晶圆切断成多个所述基板；及

去除工序，其在所述形成工序与所述切断工序之间、或在所述切断工序之后，通过蚀刻而自所述牺牲层将所述去除预定部去除，

在所述形成工序中，在将形成于所述第1镜层上的所述牺牲层中的沿多条所述线的各个的部分薄化之后，在所述牺牲层上形成所述第2镜层，从而由所述第2镜层包覆沿多条所述线的各个相互相对的所述牺牲层的侧面。

2.如权利要求1所述的法布里-帕罗干涉滤光器的制造方法，其特征在于，

在所述形成工序中，在所述晶圆的第2主面形成应力调整层，且形成所述应力调整层沿多条所述线的各个部分地薄化而成的第2薄化区域。

3.如权利要求2所述的法布里-帕罗干涉滤光器的制造方法，其特征在于，

在所述切断工序中，通过使贴附于所述应力调整层侧的扩展胶带扩张，而自所述改质区域沿所述晶圆的厚度方向使所述龟裂伸展。

4.如权利要求3所述的法布里-帕罗干涉滤光器的制造方法，其特征在于，

在所述切断工序中，在所述应力调整层侧贴附有所述扩展胶带的状态下，自与所述扩展胶带相反侧使所述激光入射至所述晶圆。

5.如权利要求3所述的法布里-帕罗干涉滤光器的制造方法，其特征在于，

在所述切断工序中，在所述应力调整层侧贴附有所述扩展胶带的状态下，自所述扩展胶带侧经由所述扩展胶带而使所述激光入射至所述晶圆。

6.如权利要求1至5中任一项所述的法布里-帕罗干涉滤光器的制造方法，其特征在于，

所述去除工序在所述形成工序与所述切断工序之间实施。

7.如权利要求1至5中任一项所述的法布里-帕罗干涉滤光器的制造方法，其特征在于，

在所述形成工序中，以构成所述第1镜层或所述第2镜层的至少1个层的表面露出的方式，将所述第1镜层、所述牺牲层、及所述第2镜层的至少一者中的沿多条所述线的各个的部分薄化，

在所述切断工序中，经由所述表面而使所述激光入射至所述晶圆。

8.如权利要求6所述的法布里-帕罗干涉滤光器的制造方法，其特征在于，

在所述形成工序中，以构成所述第1镜层或所述第2镜层的至少1个层的表面露出的方式，将所述第1镜层、所述牺牲层、及所述第2镜层的至少一者中的沿多条所述线的各个的部分薄化，

在所述切断工序中，经由所述表面而使所述激光入射至所述晶圆。