[发明专利]纯化方法及纯化装置

说明书

提供一种新颖的升华纯化方法。此外，提供一种新颖的升华纯化装置。一种使用包括通过使物质气化进行纯化的纯化部、温度调节单元、气体供应单元及气体排出单元的纯化装置的纯化方法。其中，使用气体排出单元将纯化部内设定为第一压力，使用温度调节单元设定纯化部的温度梯度来纯化物质，然后，使用气体供应单元将纯化部内的压力设定为第二压力，使用温度调节单元冷却纯化部。第二压力高于第一压力，并且，第二压力为大气压以上。

技术领域

本发明的一个方式涉及一种用于物质的纯化及回收的升华或蒸馏等纯化方法及纯化装置，尤其涉及一种使物质气化进行纯化的方法及装置。

此外，本发明的一个方式涉及一种使用该纯化方法的发光元件或半导体元件的制造方法。或者，涉及一种包括该发光元件或该半导体元件的显示装置、电子设备及照明装置的制造方法。

注意，本发明的一个方式不局限于上述技术领域。本说明书等所公开的发明的一个方式的技术领域涉及一种物体、方法或制造方法。另外，本发明的一个方式涉及一种工序(process)、机器(machine)、产品(manufacture)或组合物(composition of matter)。因此，更具体而言，作为本说明书所公开的本发明的一个方式的技术领域的例子，可以举出半导体装置、显示装置、液晶显示装置、发光装置、照明装置、蓄电装置、存储装置、这些装置的驱动方法或这些装置的制造方法。

背景技术

近年来，对利用电致发光(Electroluminescence：EL)的发光元件的研究开发日益增强。这些发光元件的基本结构是在一对电极之间夹有包含发光物质的层(EL层)。通过将电压施加到该元件的电极间，可以获得来自发光物质的发光。

因为上述发光元件是自发光型发光元件，所以使用该发光元件的显示装置具有如下优点：具有良好的可见度；不需要背光；以及功耗低等。并且，还具有如下优点：能够被制造得薄且轻；以及响应速度快等。

当使用将有机化合物用作发光物质并在一对电极间设置有包含该发光有机化合物的EL层的发光元件(例如，有机EL元件)时，通过将电压施加到一对电极间，电子和空穴分别从阴极和阳极注入到发光 EL层，由此电流流过。而且，注入的电子与空穴复合而使发光有机化合物成为激发态，而可以从该激发态有机化合物获得发光。

这种发光元件的重要特性之一在于其发光效率及使用寿命，已知发光元件的发光效率及使用寿命等性能不仅取决于用于发光元件的物质的特性，该物质的纯度也对发光元件的性能有很大的影响。因此，需要纯度高的物质，作为提高有机化合物的纯度的方法使用升华纯化法(例如，参照专利文献1)。

[现有技术文献]

[专利文献]

[专利文献1]日本专利申请公开第2003-88704号公报

发明内容

发明所要解决的技术问题

当使物质气化进行纯化时，有该物质从固体升华成气体的情况和固体熔化成液体之后蒸发成气体的情况，在前一种情况下，纯化后的物质从气体升华成固体，在后一种情况下，纯化后的物质从气体凝结成液体，然后从液体凝固成固体。在当回收纯化过的物质时该物质的体积发生很大的变化的情况下，有时随着该体积变化产生该物质扩散的问题以及纯化装置的一部分损坏的问题等。此外，为了提高生产率，加大纯化装置的尺寸是有效的，但是随着纯化装置的大型化，上述问题会变得更加凸显。

如果纯化装置的一部分发生损坏，不仅需要修理纯化装置或更换部件，而且发生净化后回收物质扩散而使该物质的回收量减少的问题；以及因纯化装置的损坏产生杂质混入而导致该物质的纯度降低的问题。