[发明专利]用于研究样品的方法和显微镜

权利要求书

1.用于研究样品的方法，其特征在于，同时在多个彼此不同的样品平面(9、10、14)中分别沿一条照射线(7、11、13)分别利用一个照射光束(8、12、15)照射所述样品，并且通过使用同一个探测物镜(1)分别利用一个自己的探测PSF扫描每个沿照射线(7、11、13)照射的样品区域并且同时且彼此在空间上分开地探测来自照射的样品区域的探测光，其中两条相邻的照射线(7、11、13)之间的距离大于在照射光束的平面中照射光束半径与相邻探测PSF半径之和。

2.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，所述样品平面(9、10、14)彼此平行地定向。

3.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，

a.所述照射线(7、11、13)在沿样品平面(9、10、14)并且垂直于照射光束(8、12、15)的照射光传播方向的方向上彼此错开地设置，和/或

b.所述照射线(7、11、13)在沿样品平面(9、10、14)并且垂直于探测物镜(1)的光轴的方向上彼此错开地设置，和/或

c.在来自利用照射线(7、11、13)照射的样品区域的探测光束中未设置其它的照射线(7、11、13)。

4.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，连续地通过同步地平行移动相应的照射光束(8、12、15)以及相应的探测PSF扫描每个所述样品平面(9、10、14)。

5.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，

a.进行共焦线探测，和/或

b.由在前面设置有狭缝光阑的探测器探测分别来自沿照射线(7、11、13)照射的样品区域的探测光，和/或

c.由用作狭缝探测器的探测器探测分别来自沿照射线(7、11、13)照射的样品区域的探测光，其中，所述狭缝探测器由面探测器的相应激活的部分构成。

6.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，每个照射的样品区域配设有一个自己的探测器，或每个照射的样品区域在一个共同的面探测器上配设有一个自己的探测区域。

7.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，来自样品的探测光根据其产生的位置借助至少一个分束器(20、21)被分配到不同的探测光束路径分支上。

8.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，

a.同时至少沿两条相邻的照射线(7、11、13)利用光片(19)代替分别利用一个自己的照射光束(8、12、15)照射样品，和/或

b.同时至少沿两条相邻的照射线(7、11、13)利用光片(19)代替分别利用一个自己的照射光束(8、12、15)照射样品，其中，所述两条相邻的照射线(7、11、13)的距离大于相邻探测PSF半径(δ)与所述光片的沿垂直于光传播方向的样品平面的方向一半尺寸之和。

9.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，

a.借助照射物镜(40)聚焦照射光并且来自样品的探测光穿过探测物镜(1)，其中，照射物镜(40)的光轴和探测物镜(1)的光轴设置在彼此垂直的平面中，或

b.借助照射物镜(40)聚焦照射光并且来自样品的探测光穿过探测物镜(1)，其中，照射物镜(40)的光轴和探测物镜(1)的光轴彼此平行地或同轴地定向。

10.显微镜，其特征在于具有一种照射装置，该照射装置具有照射物镜(40)并且该照射装置构造用于同时在多个彼此不同的样品平面(9、10、14)中分别沿一条照射线(7、11、13)分别利用一个照射光束(8、12、15)照射样品，并且具有一种探测装置，该探测装置具有探测物镜(1)和至少一个探测器，并且该探测装置构造用于通过使用同一个探测物镜(1)分别利用一个自己的探测PSF扫描每个沿照射线(7、11、13)照射的样品区域并且同时且彼此在空间上分开地探测来自照射的样品区域的探测光，其中两条相邻照射线(7、11、13)之间的距离大于在照射光束的平面中照射光束半径(ρ)与相邻探测PSF半径(δ)之和。