[发明专利]用于确定气体混合物中的气体成分的浓度的方法和设备

权利要求书

1.一种用于确定气体混合物中的N种气体成分的浓度的方法，所述气体混合物具有至少N种气体成分，其中N大于2，其中一个传感器元件（1）或多个传感器元件（1）至少达到N-1个预定温度值以确定温度相关的热导率，其特征在于，所述至少一个传感器元件（1）至少达到在从大约60°到大约350°的范围中的最小温度值（T_min），并且达到在大于大约350°的范围中的最大温度值（T_max）。

2.如权利要求1所述的方法，其特征在于，所述最大温度值（T_max）高于所述气体混合物的至少一种气体成分的分解温度，并且所述最小温度值（T_min）低于所述气体混合物的该气体成分的分解温度。

3.如权利要求1或2所述的方法，其特征在于，借助压力传感器检测压力以便补偿所述气体成分的热导率的压力相关性。

4.如权利要求1、2或3所述的方法，其特征在于，所述至少一个传感器元件（1）暴露给所述气体混合物，并且分配给所述传感器元件（1）的参考元件（5）暴露给参考气体，特别是空气。

5.如权利要求1至4中的任一项所述的方法，其特征在于，提供了N-1个传感器元件（1），每个所述传感器元件（1）在定义的恒定温度下运行。

6.一种用于确定气体混合物中的N种气体成分的浓度的设备，所述气体混合物具有至少N种气体成分，其中N大于2，所述设备包括一个传感器元件（1）或多个传感器元件（1），所述一个传感器元件（1）或多个传感器元件（1）设置成和/或设计成至少达到N-1个预定温度值以确定温度相关的热导率，其特征在于，所述至少一个传感器元件（1）设置成和/或设计成至少达到在从大约60°到大约350°的范围中的最小温度值（T_min），以及达到在大于大约350°的范围中的最大温度值（T_max）。

7.如权利要求6所述的设备，其特征在于，所述至少一个传感器元件（1）设置成和/或设计成达到高于所述气体混合物的分解温度的最大温度值（T_max）。

8.如权利要求6或7所述的设备，其特征在于，所述至少一个传感器元件（1）包括镍线（10）和/或铂线（10），其中所述镍线（10）和/或所述铂线（10）嵌入特别是陶瓷材料中。

9.如权利要求6、7或8所述的设备，其特征在于，提供了压力传感器以用于检测压力。

10.如权利要求6至9中的任一项所述的设备，其特征在于，提供了参考元件（5）和暴露给所述气体混合物的至少一个传感器元件（1），其中所述参考元件（5）暴露给参考气体，特别是空气。

11.如权利要求6至10中的任一项所述的设备，其特征在于，提供了N-1个传感器元件（1），所述N-1个传感器元件（1）中每一个都设置成和/或设计成在定义的恒定温度下运行。

12.如权利要求6至11中的任一项所述的设备，其特征在于，所述至少一个传感器元件（1）布置在测量腔室（4）中，其中所述测量腔室（4）的温度被控制到恒定温度。

13.一种热处理炉，所述热处理炉具有用于实施如权利要求1至5中的任一项所述的方法的装置和/或具有如权利要求6至12中的任一项所述的设备（3），以确定渗氮或氮碳共渗气氛中的过程气体成分的浓度。