[发明专利]激光加工机

权利要求书

1.一种激光加工机，其使用激光束对被加工物进行加工，该激光加工机的特征在于，具备：

第一棱镜、第二棱镜、第三棱镜及第四棱镜，从所述激光束的光路上游侧依次配置；

第一主轴、第二主轴、第三主轴及第四主轴，分别独立地保持所述第一棱镜、所述第二棱镜、所述第三棱镜及所述第四棱镜；

第一保持机构、第二保持机构、第三保持机构及第四保持机构，以分别能够旋转的方式保持所述第一主轴、所述第二主轴、所述第三主轴及所述第四主轴；

第一马达、第二马达、第三马达及第四马达，由分别固定于所述第一主轴、所述第二主轴、所述第三主轴及所述第四主轴的转子以及分别固定于所述第一保持机构、所述第二保持机构、所述第三保持机构及所述第四保持机构的定子构成；

棱镜移动机构，移动所述第一棱镜或所述第二棱镜中的至少一个；以及

平行板，在所述第二主轴中相对于光轴以能够倾斜的方式设置，且配置于所述第二棱镜的光路下游侧，

所述第一棱镜与所述第二棱镜为使所通过的所述激光束位移的一对棱镜，

所述第三棱镜与所述第四棱镜为使所通过的所述激光束偏向的一对棱镜。

2.根据权利要求1所述的激光加工机，其特征在于，

所述第一主轴、所述第二主轴、所述第三主轴及所述第四主轴分别经由径向空气静压轴承及止推空气静压轴承以能够旋转的方式保持于所述第一保持机构、所述第二保持机构、所述第三保持机构及所述第四保持机构。

3.根据权利要求1所述的激光加工机，其特征在于，具备：

聚光透镜，配置于所述激光束的光路上，且对照射于所述被加工物的所述激光束进行聚光；及

透镜移动机构，使所述聚光透镜沿所述激光束的回转中心轴移动。

4.根据权利要求1所述的激光加工机，其特征在于，具备，

像散校正机构，固定于所述第一主轴中的所述第一棱镜的光路上游侧，且校正所述激光束的像散。

5.根据权利要求4所述的激光加工机，其特征在于，

所述像散校正机构具备一对柱面透镜及一对凹透镜。

6.根据权利要求1所述的激光加工机，其特征在于，具备，

偏振转换机构，固定于所述第一主轴中的所述第一棱镜的光路上游侧，且转换所述激光束的偏振状态。

7.根据权利要求1所述的激光加工机，其特征在于，具备，

摄像机构，拍摄照射有所述激光束的所述被加工物。

8.根据权利要求1所述的激光加工机，其特征在于，具备，

等离子体产生抑制机构，抑制通过所述激光束加工所述被加工物时的等离子体的产生。

9.根据权利要求1所述的激光加工机，其特征在于，具备，

等离子体抽吸机构，抽吸通过所述激光束加工所述被加工物时所产生的等离子体。

10.根据权利要求1所述的激光加工机，其特征在于，

所述激光束为纳秒以下的短脉冲激光。