[发明专利]有机EL设备的制造方法及成膜装置

权利要求书

1.一种有机EL设备的制造方法，其特征在于，包括：

准备元件基板的工序，其中，所述元件基板具备：具有有源区域和位于所述有源区域外侧的周边区域的基板，以及被所述基板支撑的电气电路，所述电气电路含有形成于所述有源区域上的多个有机EL元件和对所述多个有机EL元件进行驱动的底板电路，并且，所述底板电路具有分别包含所述周边区域上的端子的多根引出配线；和

形成薄膜封装结构的工序，其是在所述元件基板中所述多个有机EL元件上和所述多根引出配线的所述有源区域侧的部分上形成薄膜封装结构；

所述形成薄膜封装结构的工序包括：

在所述元件基板上形成第一无机阻挡层的工序；

使液态的光固化性树脂在所述第一无机阻挡层上冷凝的工序；

利用波长为400nm以下的激光束照射所述光固化性树脂的被选择区域，使所述光固化性树脂的至少一部分固化而形成光固化树脂层的工序，在该工序中，在所述多根引出配线上分别形成所述光固化树脂层的开口部；

对所述光固化树脂层的表面的一部分进行灰化而形成有机阻挡层的工序；以及

在所述第一无机阻挡层上形成将所述有机阻挡层覆盖的第二无机阻挡层，且在所述开口部中使所述第一无机阻挡层和所述第二无机阻挡层不经由所述有机阻挡层而接触的工序。

2.如权利要求1所述的制造方法，其特征在于，

在所述使液态的光固化性树脂冷凝的工序中，在所述第一无机阻挡层的平坦部上冷凝的所述光固化性树脂的厚度为100nm以上且500nm以下。

3.如权利要求1或2所述的制造方法，其特征在于，

所述形成有机阻挡层的工序包括：由至少一个半导体激光元件射出的激光生成所述激光束。

4.如权利要求1或2中任一项所述的制造方法，其特征在于，

所述基板为柔性基板。

5.如权利要求1或2中任一项所述的制造方法，其特征在于，

所述光固化性树脂包含丙烯酸单体。

6.一种有机EL设备的制造方法，其特征在于，包括：

准备元件基板的工序，其中，所述元件基板具有基板和排列在所述基板上的多个有机EL设备；和

在所述元件基板上形成薄膜封装结构的工序；

所述形成薄膜封装结构的工序包括：

在所述元件基板上形成第一无机阻挡层的工序；

使光固化性树脂在所述第一无机阻挡层上冷凝的工序；

利用激光束照射所述光固化性树脂的被选择的多个区域，使所述光固化性树脂的至少一部分固化而形成光固化树脂层的工序；

将所述光固化性树脂的未固化的部分除去的工序；以及

在所述第一无机阻挡层上形成将所述基板上残存的所述光固化树脂层覆盖的第二无机阻挡层的工序；

所述光固化性树脂的所述多个区域以下述方式被选择，即各有机EL设备的有源区域被所述第一无机阻挡层与所述第二无机阻挡层之间不经由有机阻挡层而接触的区域所包围这一方式，其中，所述有机阻挡层由所述光固化性树脂构成。

7.如权利要求6所述的制造方法，其特征在于，

所述光固化性树脂的所述多个区域彼此相互分离。

8.一种成膜装置，其是在权利要求6所述的有机EL设备的制造方法中使用的成膜装置，所述成膜装置的特征在于，具备：

具有用于支撑基板的工作台的腔室，

向所述腔室内供给蒸汽或雾状的光固化性树脂的原料供给装置，以及

利用激光束照射被所述工作台支撑的所述基板的被选择的多个区域的光源装置；

所述光源装置具备：

至少一个射出所述激光束的半导体激光元件，和

对从所述半导体激光元件射出的所述激光束在所述基板上的强度分布进行调节的光学装置。

9.如权利要求8所述的成膜装置，其特征在于，

所述光学装置具有至少一个利用所述激光束对所述基板的被选择的所述多个区域进行扫描的可动反射镜。