[发明专利]电子设备用的转印装置以及电子设备用的转印方法

说明书

在工作台的支撑面上配置校正板。校正板具有：沿着一个方向排列的第一对准标记、第二对准标记，以及沿着与一个方向垂直的另一个方向排列的第三对准标记、第四对准标记。利用第一摄像机拍摄沿着前后方向移动的第一对准标记以及第二对准标记。基于该图像，使校正板的一个方向与前后方向平行。基于第三对准标记以及第四对准标记，调整第二摄像机以及第三摄像机的位置。调整了位置的第二摄像机以及第三摄像机向转印辊的下方的位置移动，利用第二摄像机以及第三摄像机拍摄在转印辊形成的基准线。基于这些图像，在与支撑面平行的面内，调整转印辊的旋转轴的方向。

技术领域

本发明涉及一种电子设备用的转印装置以及电子设备用的转印方法。

背景技术

在液晶显示装置、布线电路板等的制造工序中，为了在各种基板形成电极以及布线等图案，利用光刻技术。通过光刻技术，能够以高精度形成微细的图案。

近几年，提出了通过使用了导电性油墨的印刷技术来代替光刻技术，在基板上形成电极以及布线等图案的方法。通过利用印刷技术，减少形成图案所需的工序数量。

为了形成图案，能够利用胶版印刷。在胶版印刷中，从着墨的版向橡皮布辊转印油墨。然后，将被转印的油墨从橡皮布辊再次转印至基板等对象物。关于胶版印刷，为了提高被转印的油墨图案的尺寸精度，提出了各种方法。

例如，专利文献1所记载的胶版印刷装置包括版工作台、印刷对象工作台以及橡皮布辊。版工作台以及印刷对象工作台能够分别在导轨上独立地沿着一个方向移动。橡皮布辊设置于导轨的上方的固定位置。

在进行胶版印刷时，首先，在版工作台上载置有版的状态下，对版进行对准。另外，在印刷对象工作台上载置有对象物的状态下，对对象物进行对准。接着，通过使版工作台沿着一个方向移动，一边对版进行着墨，一边将版送至橡皮布辊的下方位置。使版工作台沿着一个方向移动，并且使橡皮布辊旋转，从而从版向橡皮布辊转印油墨。

接着，通过使印刷对象工作台沿着一个方向移动，将对象物送至橡皮布辊的下方位置。随着对象物沿着一个方向移动，橡皮布辊旋转，由此，从橡皮布辊向对象物再次转印油墨。

在上述的胶版印刷装置中，分别对版以及对象物进行对准，来抑制因向版工作台安装版的安装位置的误差、向印刷对象工作台安装对象物的安装位置的误差而产生油墨图案的尺寸精度下降的情况。

专利文献1：日本特开2010-280164号公报

发明内容

发明所要解决的问题

近几年，随着设备的高密度化以及高集成化，形成在基板上的图案的微细化成为重要的课题。因此，需要比利用胶版印刷而形成在基板上的油墨图案更高的尺寸精度。

本发明的目的在于，提供一种电子设备用的转印装置以及电子设备用的转印方法，能够将用于构成电子设备的被转印物以高精度转印至对象物的所希望的位置。

用于解决问题的技术方案

胶版印刷装置中的印刷后的油墨图案的尺寸精度下降的原因并不局限于，向版工作台安装版的安装位置的误差以及向印刷对象工作台安装对象物的安装位置的误差。本发明人在利用胶版印刷技术的电子设备用的转印装置中，着眼于多个结构构件之间的组装误差，为了抑制因组装误差而引起的尺寸精度下降的情况，并且为了抑制因使用转印装置而随时间经过所产生的尺寸误差增加的情况，提出了下面的方案。