[发明专利]微针制造方法及微针制造装置

权利要求书

1.一种微针制造装置，其特征在于，包括：

对象物设置设备，该对象物设置设备待设置成为加工的对象的加工对象物；

针头形成设备，该针头形成设备包括：射出激光束的激光出射部、将所述激光束转换为光涡旋脉冲光的光涡旋转换部、以及将所述光涡旋脉冲光会聚而照射于所述加工对象物的物镜，将由脉冲光构成的所述激光束转换为具有螺旋状的偏振光的光涡旋脉冲光，向所设定的光涡旋焦点位置照射所述光涡旋脉冲光，由此，在所述加工对象物形成针头；

孔形成设备，该孔形成设备将基于所述激光束的所述激光脉冲光借助所述物镜而照射于所述加工对象物，由此向所设定的激光焦点位置照射激光脉冲光，从而在所述针头形成洞或孔；以及

照射控制部，该照射控制部以形成所述针头时的所述光涡旋焦点位置为基准，设定所述激光焦点位置，

所述光涡旋转换部为选择式的光涡旋转换部，其设置于所述激光出射部与所述物镜之间，能够将所述激光束转换为所述光涡旋脉冲光，另一方面，使所述激光束以激光脉冲光的形式通过。

2.根据权利要求1所述的微针制造装置，其特征在于，

包括至少能够在与激光的行进方向垂直的平面方向上进行位移的所述对象物设置设备，

所述照射控制部对所述对象物设置设备进行控制，由此，使所述激光脉冲光照射于使所述激光脉冲光的焦点在所述平面方向上从照射了所述光涡旋脉冲光的光涡旋照射位置稍微偏移的偏移位置。

3.根据权利要求1所述的微针制造装置，其特征在于，

所述选择式的光涡旋转换部通过使所述脉冲光向光涡旋转换的转换元件而将所述脉冲光转换为所述光涡旋脉冲光并射出，

通过使所述脉冲光不穿过所述转换元件而将所述脉冲光以所述激光脉冲光的形式射出。

4.根据权利要求1所述的微针制造装置，其特征在于，

所述选择式的光涡旋转换部为能够通过变更偏振图案来调整所述脉冲光的偏振光的图案可变型的转换元件，

通过使所述脉冲光向光涡旋转换的偏振图案，将所述脉冲光转换为所述光涡旋脉冲光并射出，

通过没有使所述脉冲光的偏振方向发生变化的偏振图案，将所述脉冲光以所述激光脉冲光的形式射出。

5.根据权利要求1所述的微针制造装置，其特征在于，

包括透镜驱动设备，该透镜驱动设备能够使所述物镜至少在光轴方向上进行位移，

所述照射控制部对所述透镜驱动设备进行控制，由此，使所述光涡旋焦点位置和所述激光焦点位置在所述光轴方向上发生位移。

6.一种微针制造装置，其特征在于，包括：

对象物设置设备，该对象物设置设备待设置成为加工的对象的加工对象物；

针头形成设备，该针头形成设备将由脉冲光构成的激光束转换为具有螺旋状的偏振光的光涡旋脉冲光，向所设定的光涡旋焦点位置照射所述光涡旋脉冲光，由此，在所述加工对象物形成针头；

孔形成设备，该孔形成设备向所设定的激光焦点位置照射激光脉冲光，由此，在所述针头形成洞或孔；以及

照射控制部，该照射控制部以形成所述针头时的所述光涡旋焦点位置为基准，设定所述激光焦点位置，

所述针头形成设备及所述孔形成设备为不同的构成，

所述微针制造装置包括切换可移动部，该切换可移动部能够将照射的激光切换为所述光涡旋脉冲光及所述激光脉冲光中的任意一者。

7.一种微针制造装置，其特征在于，包括：

对象物设置设备，该对象物设置设备待设置成为加工的对象的加工对象物；

针头形成设备，该针头形成设备将由脉冲光构成的激光束转换为具有螺旋状的偏振光的光涡旋脉冲光，向所设定的光涡旋焦点位置照射所述光涡旋脉冲光，由此，在所述加工对象物形成针头；

孔形成设备，该孔形成设备向所设定的激光焦点位置照射激光脉冲光，由此，在所述针头形成洞或孔；以及

照射控制部，该照射控制部以形成所述针头时的所述光涡旋焦点位置为基准，设定所述激光焦点位置，

所述对象物设置设备使所述加工对象物在所述光涡旋脉冲光及所述激光脉冲光的照射范围内位移，

所述照射控制部对所述对象物设置设备在所述光涡旋脉冲光的照射范围内时的所述针头形成设备的物镜与所形成的所述针头的光涡旋相对位置关系和使所述加工对象物向所述激光脉冲光的照射范围内位移时的所述孔形成设备的物镜与所述针头的激光相对位置关系的不同进行修正，由此，以形成所述针头时的光涡旋焦点位置为基准，设定所述激光焦点位置。