[实用新型]一种真空度测量装置

权利要求书

1.一种真空度测量装置，其特征在于：包括本体，所述本体包括外壳和所述外壳包围的容纳腔，所述容纳腔的一端设有开口，另一端安装有密封端子，所述开口安装有密封连接件，所述容纳腔内安装有热细丝、支撑所述热细丝的第一支撑机构、固定所述第一支撑机构的绝缘固定件、第二支撑机构，所述第一支撑机构和所述第二支撑机构电连接，所述第二支撑机构穿过所述密封端子与外部控制电路电连接，所述外壳安装有温度传感器，所述温度传感器与所述外部控制电路连接。

2.如权利要求1所述的真空度测量装置，其特征在于，所述容纳腔内靠近所述开口处固定安装有空气过滤机构。

3.如权利要求2所述的真空度测量装置，其特征在于，所述空气过滤机构为烧结过滤器。

4.如权利要求1所述的真空度测量装置，其特征在于，所述第一支撑机构包括分别支撑所述热细丝两端的第一支撑件和第二支撑件，所述第二支撑机构包括与所述第一支撑件电连接的第三支撑件、与所述第二支撑件电连接的第四支撑件。

5.如权利要求4所述的真空度测量装置，其特征在于，所述第三支撑件和第四支撑件结构相同，均为弧形且对称设置。

6.如权利要求1所述的真空度测量装置，其特征在于，所述密封连接件为固定法兰。

7.如权利要求1所述的真空度测量装置，其特征在于，所述容纳腔为筒状。

8.如权利要求1-7任一所述的真空度测量装置，其特征在于，所述热细丝为螺旋形结构。