[实用新型]一种还原炉钟罩喷涂用钟罩旋转工装

说明书

本实用新型公开了一种还原炉钟罩喷涂用钟罩旋转工装，一种还原炉钟罩喷涂用钟罩旋转工装，包括底座，底座前后两端均开有第一活动槽，所述底座右端上侧安装有支撑板，所述支撑板前后两端贯穿连接有第三固定螺母，所述支撑板上端中部安装有动力台，所述动力台上端固定安装有伺服电机，所述伺服电机左端连接有主轴，所述主轴外端套接有阻尼泵，所述主轴左端固定连接有卡盘，所述卡盘包括有盘面和第二活动槽，该还原炉钟罩喷涂用钟罩旋转工装通过设置有伺服电机、阻尼泵、主轴、卡盘和卡爪的结构，起到了旋转还原炉钟罩的效果，从而提高了给还原炉钟罩喷漆的效率，且提高了喷漆的均匀度。

技术领域

本实用新型涉及机械领域，具体为一种还原炉钟罩喷涂用钟罩旋转工装。

背景技术

改良西门子法是国际上生产多晶硅的主流技术，其核心设备为还原炉，还原炉的工作原理是通过通电高温硅芯将含硅气体(常用的含硅气体为三氯氢硅和硅烷)与氢气的混和气体反应生成多晶硅并沉积在硅芯上，最终产物是沉积在硅芯上的多晶硅，产品最终以多晶硅棒的形式从还原炉中采出，当前，在还原炉内壁进行热反射材料的喷涂是一种有效减少还原炉热量损失的新技术；然而，由于还原工艺的特殊性，对于喷涂作业有着比较高的要求，这就对喷涂作业的工装提出了新的要求，由于此技术是一种多晶硅生产节能新技术，对于还原炉喷涂作业的工装目前还是空白，尤其是旋转工装，为此我们提供一种还原炉钟罩喷涂用钟罩旋转工装。

实用新型内容

本实用新型的目的在于提供一种还原炉钟罩喷涂用钟罩旋转工装，以解决上述背景技术中提出的问题。

为实现上述目的，本实用新型提供如下技术方案：一种还原炉钟罩喷涂用钟罩旋转工装，包括底座，底座前后两端均开有第一活动槽，所述底座右端上侧安装有支撑板，所述支撑板前后两端贯穿连接有第三固定螺母，所述支撑板上端中部安装有动力台，所述动力台上端固定安装有伺服电机，所述伺服电机左端连接有主轴，所述主轴外端套接有阻尼泵，所述主轴左端固定连接有卡盘，所述卡盘包括有盘面和第二活动槽，所述卡盘左右两端分别贯穿连接有卡爪和第一固定螺母，所述卡爪左端贯穿连接有第二固定螺母，所述底座上端前后两侧均安装有支撑杆，所述支撑杆上端活动连接有滚轮，所述滚轮上端活动连接有还原炉钟罩。

优选的，所述盘面上下左右四端对称开有第二活动槽。

优选的，所述卡爪活动连接于第二活动槽内腔，且卡爪右端与第一固定螺母螺纹连接。

优选的，所述第三固定螺母活动连接于第一活动槽内腔。

优选的，所述支撑杆之间固定连接有伸缩杆。

优选的，所述卡盘设有的第二活动槽槽口标记有刻度线。

优选的，所述还原炉钟罩固定于卡爪之间。

优选的，所述主轴固定连接与卡盘的中心处。

与现有技术相比，本实用新型的有益效果是：该还原炉钟罩喷涂用钟罩旋转工装通过设置有伺服电机、阻尼泵、主轴、卡盘和卡爪的结构，起到了旋转还原炉钟罩的效果，从而提高了给还原炉钟罩喷漆的效率，且提高了喷漆的均匀度；通过第一固定螺母固定卡爪和卡盘，第二固定螺母固定还原炉钟罩和卡爪，第三固定螺母固定底座，达到了提高装置稳定性的效果；通过伸缩杆调节支撑杆的间距，达到了适用于不同尺寸还原炉钟罩喷漆作业的效果。

附图说明

图1为本实用新型剖视图；

图2为本实用新型左视图；

图3为本实用新型的卡盘和卡爪结合处的剖视图；

图4为本实用新型的底座和动力台结合处的剖视图。