[实用新型]一种L型OLED蒸镀线源

说明书

本实用新型涉及一种L型OLED蒸镀线源，其包括：桶状坩埚，其内装填有机材料；气流平衡管，其与所述桶状坩埚的上端通过蒸汽导管相连；多个喷嘴，其排成一排设置在所述气流平衡管的顶端；所述桶状坩埚内的有机材料被加热后成为分子蒸汽，然后由气流平衡管上的多个喷嘴喷出。本实用新型的L型OLED蒸镀线源的蒸气导管、平衡管及喷嘴周围都布置了加热丝，使得这些部位在线源工作时保持高温，而使材料蒸汽分子不会在这些部位固化堆积。速率控制可以通过调节坩埚的加热丝的温度或者调节阀的开度来实现。由于坩埚的加热丝的面积较小，因此系统惯性较小，易于实现速率控制。而速率调节阀的加入可以使速率控制变得更精细、更准确。

技术领域

本实用新型涉及蒸镀技术领域，特别涉及一种L型OLED蒸镀线源。

背景技术

现有的量产蒸镀设备的线源多为“一字型”，顾名思义，一字型线源即一种外形近似汉字“一”的线性蒸发源。如图1所示，传统一字型线源的有机材是通过线源主体2顶端的一排水平间隔排布的喷嘴1喷出。一字型线源也可以近似理解为一个长方体，长方体内部添加有机材料，顶端有一排水平间隔排布的喷嘴，当长方体侧壁被加热时，内部有机材料即气化而从顶端喷嘴处喷出，并最终在基板上沉积成膜。

虽然一字型线源目前应用很广泛，但是一字型线源由于自身结构限制，存在一些缺点。其中，装、退材料困难及系统惯性大速率难于控制两个缺点尤为致命。前者因为一字型线源内部都有一支长条形内坩埚，向内坩埚装填材料时，很难做到水平方向的均匀。加入材料后需要做端面密封将内坩埚封闭在线源内，这一过程非常繁琐，且有一定难度。而“系统惯性大速率难于控制”是由于一字型线源全部材料都是平铺在一字长条形内坩埚中，而内坩埚的侧面几乎都在加热丝的辐射范围内。所以升温降温都很难控制，因此说其系统惯性大，速率控制困难。

日本ULVAC和韩国SFA公司都申请了一字线源的专利，但是他们提供的线源在实际使用中均存在上述问题。

实用新型内容

本实用新型要解决现有技术中的技术问题，提供一种L型OLED蒸镀线源。

为了解决上述技术问题，本实用新型的技术方案具体如下：

一种L型OLED蒸镀线源，包括：

桶状坩埚，其内装填有机材料；

气流平衡管，其与所述桶状坩埚的上端通过蒸汽导管相连；

多个喷嘴，其排成一排设置在所述气流平衡管的顶端；

所述桶状坩埚内的有机材料被加热后成为分子蒸汽，然后由气流平衡管上的多个喷嘴喷出。

在上述技术方案中，所述喷嘴的间距从靠近所述桶状坩埚的一端到远离所述桶状坩埚的一端逐渐减小。

在上述技术方案中，所述喷嘴的间距从靠近所述桶状坩埚的一端到远离所述桶状坩埚的一端，依次以90％的比例减小。

在上述技术方案中，所述桶状坩埚的外围设有坩埚加热丝。

在上述技术方案中，所述气流平衡管的外围设有加热丝。

本实用新型具有以下的有益效果：

本实用新型的L型OLED蒸镀线源，设计了一支筒状坩埚，有机材料装填在坩埚内，坩埚上端通过法兰或者螺纹与蒸气导管连接，拆卸方便。有机材料在坩埚内被加热后成为分子蒸汽，并向上运动。然后这些蒸汽经过蒸气导管的导向进入气流平衡管，最后又由平衡管顶部的喷嘴喷出而在基板上沉积成膜。这样的设计，改变了传统“一字线源”长条坩埚内的平铺材料正对着喷嘴的结构，因此避免了传统“一字线源”速率稳定性及膜厚均匀性受加料平坦度影响的弊端。