[实用新型]一种设有反射罩的OLED蒸镀线源

说明书

本实用新型涉及一种设有反射罩的OLED蒸镀线源，其包括：线源主体；所述线源主体在垂直于扫描方向上设置有排成一排的多个喷嘴；在多个喷嘴外围设有高度高于喷嘴的反射罩。本实用新型的设有反射罩的OLED蒸镀线源，通过在喷嘴外围设置反射罩，使得线源的垂直于扫描方向的蒸镀角可控性良好。本实用新型的设有反射罩的OLED蒸镀线源，蒸镀得到的膜厚均匀性好，可有效控制阴影效应，适用于高解析度OLED屏幕制备。

技术领域

本实用新型涉及蒸镀技术领域，特别涉及一种设有反射罩的OLED蒸镀线源。

背景技术

现有的量产蒸镀设备的线源多为“一字型”，顾名思义，一字型线源即一种外形近似汉字“一”的线性蒸发源。一字型线源也可以近似理解为一个长方体，长方体内部添加有机材料，顶端有一排水平间隔排布的喷嘴(Nozzle)，当长方体侧壁被加热时，内部有机材料即气化而从顶端喷嘴处喷出，并最终在基板上沉积成膜。

虽然一字型线源目前应用很广泛，传统一字型线源如图1所示，由于自身结构限制，存在一些缺点。其中，阴影效应问题尤为致命。传统一字型线源的有机材是通过线源主体2顶端的一排水平间隔排布的喷嘴1喷出，一排水平喷嘴1相当于一连串点源直线拼接，它的扫描方向(喷嘴排列垂直方向)的材料出射角(即蒸镀角)可以通过加设限制板的方法来加以控制。但是垂直于扫描的方向(喷嘴排列方向)的蒸镀角是无法控制的。总之传统一字线源的蒸镀角是不好控制的，这就使得它在生产OLED屏幕时阴影效应较为严重。严重的阴影效应，会导致高解析度屏幕的蒸镀制程量率很低，甚至是没有良率。

实用新型内容

本实用新型要解决现有技术中的技术问题，提供一种设有反射罩的OLED蒸镀线源。

为了解决上述技术问题，本实用新型的技术方案具体如下：

一种设有反射罩的OLED蒸镀线源，包括：线源主体；

所述线源主体在垂直于扫描方向上设置有排成一排的多个喷嘴；

在多个喷嘴外围设有高度高于喷嘴的反射罩。

在上述技术方案中，所述反射罩外围设有反射罩加热丝。

在上述技术方案中，所述线源主体外围设有主体加热丝。

在上述技术方案中，所述反射罩的高度是所述喷嘴高度的120～400％。

在上述技术方案中，排成一排的多个所述喷嘴的排列间距满足：

靠近中部的占总数50％的喷嘴的间距，是两侧的喷嘴的120～180％％。

本实用新型具有以下的有益效果：

本实用新型的设有反射罩的OLED蒸镀线源，通过在喷嘴外围设置反射罩，使得线源的垂直于扫描方向的蒸镀角可控性良好。本实用新型的设有反射罩的OLED蒸镀线源，蒸镀得到的膜厚均匀性好，可有效控制阴影效应，适用于高解析度OLED屏幕制备。

本实用新型的设有反射罩的OLED蒸镀线源因其设置的反射罩为一圈的形式包围着喷嘴，很像阿拉伯数字“0”，故该线源得名“0式线源”。本实用新型的“0”式线源之所以保留传统线源多个喷嘴一字排列模式，并合理控制这些喷嘴的间距，目的是为了达到较好的膜厚均匀性，而一排喷嘴外围加上的反射罩是为了使喷嘴喷出材料进行反射和再分布，即将不同的喷嘴喷出材料混合聚龙，再喷出。避免了传统线源通过每个喷嘴喷出的材料所具有的点源分布特性。因此本实用新型的“0”式线源的蒸镀角可控性好，在实际生产过程中，可有效地控制阴影效应。

本实用新型的设有反射罩的OLED蒸镀线源不仅在线源主体周围排布了加热丝，而且其反射罩的周围也排布了加热丝。而这些排布在反射罩外围的加热丝是为了让反射罩保持一定的高温，这样才能使得反射罩具有有效的反射功能，并且避免材料因凝结固化而产生的塞孔现象。

附图说明