[实用新型]探针卡专用磨针机

权利要求书

1.一种探针卡专用磨针机，包括,真空吸盘(6)、探针卡(5)、马达(8)、丝杆(10)、Z轴滑台(11)、上斜块(14)、产品夹块(4)、平面轴承(13)、显微镜支架(2)、显微镜(1)、支架(3)，其特征在于：所述支架(3)上端一侧设置显微镜支架(2)，所述显微镜支架(2)上设置有显微镜(1)，所述支架(3)一侧设置马达(8)，所述马达(8)输出端连接丝杆(10)，所述丝杆(10)啮合连接下滑块(12)，所述下滑块(12)上端设置平面轴承(13)，所述平面轴承(13)上端固定设置上斜块(14)，所述上斜块(14)侧面滑动连接Z轴滑台(11)，所述Z轴滑台(11)上端设置有真空吸盘(6)，所述支架(3)的中间设置圆形孔(7)，所述真空吸盘(6)设置在圆形孔(7)内，所述支架(3)的两端设置产品夹块(4)，所述产品夹块(4)之间设置探针卡(5)。

2.根据权利要求1所述的探针卡专用磨针机，其特征在于，所述马达(8)和丝杆(10)之间通过联轴器(9)连接。

3.根据权利要求1所述的探针卡专用磨针机，其特征在于，所述上斜块(14)为直角梯型形状。

4.根据权利要求1所述的探针卡专用磨针机，其特征在于，所述支架(3)包括第一底面(301)和第二底面(302)，所述第一底面(301)设置在第二底面(302)的上端，且所述第一底面(301)和第二底面(302)之间通过四个支撑杆(303)固定连接。