[实用新型]探针卡专用调针磨针一体机动力机构

说明书

本实用新型公开了一种探针卡专用调针磨针一体机动力机构，包括,真空吸盘、探针卡、马达、丝杆、Z轴滑台、上斜块、产品夹块、平面轴承、显微镜支架、显微镜、支架，所述支架上端一侧设置显微镜支架，所述显微镜支架上设置有显微镜，所述支架一侧设置马达，所述马达输出端连接丝杆，所述丝杆啮合连接下滑块，所述下滑块上端设置平面轴承，所述平面轴承上端固定设置上斜块，所述上斜块侧面滑动连接Z轴滑台，所述Z轴滑台上端设置有真空吸盘，所述支架的中间设置圆形孔，所述真空吸盘设置在圆形孔内，所述支架的两端设置产品夹块，所述产品夹块之间设置探针卡。本磨针机能模拟探针测试动作，结构简单方便，效率高，操作方便，实用性强。

技术领域

本实用新型属于磨针机设备技术领域，具体涉及一种探针卡专用调针磨针一体机动力机构。

背景技术

探针卡的加工过程作为一项高端的技术，其检测和加工设备也是需要很高的精密度。目前，国内生产探针卡的磨针机大多为单一功能,不能模拟探针测试动作。

实用新型内容

本实用新型的目的在于提供探针卡专用调针磨针一体机动力机构，以解决上述背景技术中提出的磨针机大多为单一功能,不能模拟探针测试动作的问题。

为实现上述目的，本实用新型提供如下技术方案：一种探针卡专用调针磨针一体机动力机构，包括,真空吸盘、探针卡、马达、丝杆、Z轴滑台、上斜块、产品夹块、平面轴承、显微镜支架、显微镜、支架，所述支架上端一侧设置显微镜支架，所述显微镜支架上设置有显微镜，所述支架一侧设置马达，所述马达输出端连接丝杆，所述丝杆啮合连接下滑块，所述下滑块上端设置平面轴承，所述平面轴承上端固定设置上斜块，所述上斜块侧面滑动连接Z轴滑台，所述Z轴滑台上端设置有真空吸盘，所述支架的中间设置圆形孔，所述真空吸盘设置在圆形孔内，所述支架的两端设置产品夹块，所述产品夹块之间设置探针卡。

优选的，所述马达和丝杆之间通过联轴器连接。

优选的，所述上斜块为直角梯型形状。

优选的，所述支架包括第一底面和第二底面，所述第一底面设置在第二底面的上端，且所述第一底面和第二底面之间通过四个支撑杆固定连接。

本实用新型的技术效果和优点：本机构运动方式是由马达通过丝杆推动下斜面滑块往前运动，挤压上斜面滑块，用交叉导轨抵消上下滑块的摩擦,并使上斜面滑块沿垂直挡板向上运动,同时利用机构的自重抵消的丝杆间隙使得升降的精度更为准确,实现微米级的升降运动，Y方向运动千分旋钮、X方向运动千分旋钮，通过Y方向运动千分旋钮和X方向运动千分旋钮可以实现调节机构的整体XY方向运动，通过变速齿轮马达的旋转带动小齿轮旋转，小齿轮旋转带动大齿轮旋转，大齿轮旋转带动真空产品吸盘下面的大齿轮将真空产品吸盘在中心轴上实现对空产品吸盘的旋转。本磨针机能模拟探针测试动作，结构简单方便，效率高，操作方便，实用性强。

附图说明

图1为本实用新型的探针卡专用调针磨针一体机动力机构的立体图；

图2为本实用新型的探针卡专用调针磨针一体机动力机构的立体图；

图3为图2的A处放大图。

图中：1、调节底座；2、底座；3、小齿轮；4、下斜面滑块；5、上斜面滑块；6、大齿轮；7、丝杆；8、X方向运动千分旋钮；9、Y方向运动千分旋钮；10、挡板；11、真空产品吸盘；12、马达；13、变速齿轮马达；14、交叉导轨。

具体实施方式

下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。