[实用新型]一种干式特气尾气处理设备排气口毒气浓度监测装置

说明书

一种干式特气尾气处理设备排气口毒气浓度监测装置，包括毒气检测装置(2)、泵(4)和软管(5)和两个钢管接头(1、3)；钢管接头(1、3)分别设置在干式特气尾气处理设备的进气口和排气口处；毒气检测装置(2)的一端经软管(5)连接于干式特气尾气处理设备排气口处的钢管接头(3)，另一端经软管(5)连接于泵(4)；泵(4)一端连接毒气检测装置(2)排气口，另一端连接干式特气尾气处理设备进气口处的钢管接头(1)；启动泵(4)工作，设备排气口处气体样本被抽取，经软管(5)流经毒气检测装置(2)，毒气检测装置(2)检测被抽取气体样本的浓度，然后经泵(4)的气体通路排到设备进气口(1)处。

技术领域

本实用新型属于干式工艺特气尾气处理技术领域，特别涉及一种尾气处理设备排气口毒气浓度监测装置。

背景技术

在半导体、太阳能光伏、LCD等产品的生产工艺中，会用到大量的、种类繁杂的特殊气体，往往这些气体在在工艺中又不能被完全消耗，剩余部分回收成本太高，如果直接排放，则会对环境造成很大的污染，因此，往往在气体排放前会先经过特气尾气处理设备，将其中的有害成分去除后再排往大气中，而国家对这些气体的排放要求是非常严格的，并有相关的具体排放指标，因此，知道特气尾气处理设备排气口毒气排放浓度是很有必要的。

目前，在干式特气尾气处理设备中，对设备排气口毒气浓度的检测手段主要是通过颜色指示剂的方式得以实现，即在设备排气端安装一个内部装有指示剂的透明视窗，指示剂在遇到特定的气体时，颜色会发生变化，从而判断特气尾气处理设备是否已将相关的气体处理干净。

上述方法有以下几个缺点：

1.指示剂只能判断尾气中含有特定的气体，不能通过颜色变化反应气体的具体浓度；

2.往往设备的使用寿命远远长于指示剂，而指示剂并没有明显的失效标志，往往会造成错误的判断或指示剂的浪费；

3.此种判断方法需肉眼进行判断，即需人工巡视，时效性和准确性非常差。

发明内容

针对现有技术的不足，本实用新型旨在提供一种干式特气尾气处理设备排气口毒气浓度监测装置，能更实时和更精确地获得设备排气口毒气浓度。

本实用新型的技术方案是，一种干式特气尾气处理设备排气口毒气浓度监测装置，包括毒气检测装置、泵和软管和两个钢管接头；

所述钢管接头分别设置在干式特气尾气处理设备的进气口和排气口处；

所述毒气检测装置的一端经软管连接于干式特气尾气处理设备排气口处的钢管接头，另一端经软管连接于泵，所述毒气检测装置用于测定流经的气体浓度；

所述泵一端连接毒气检测装置排气口，另一端连接干式特气尾气处理设备进气口处的钢管接头；

启动泵工作，设备排气口处气体样本被抽取，经软管流经毒气检测装置，毒气检测装置检测被抽取气体样本的浓度，然后经泵的气体通路排到设备进气口处，因此，排气后抽取的气体样本最终会重新流回设备进气口再进入到罐体内部，即使检测样本中含有有毒成分也不会直接流出设备，从而造成污染。

进一步的，本实用新型还包括与毒气检测装置连接的控制器，以接收毒气检测装置检测获得的气体浓度信号。

更进一步的，上述控制器有气体浓度预警和报警设置。

进一步的，上述泵为气动泵。利用气动驱动，无需电源。

进一步的，上述毒气检测装置包括根据气体种类的不同进行切换的传感器。

进一步的，上述软管为透明PVC软管。

与现有技术相比，本实用新型的益处在于：

1)无需担心颜色指示剂寿命的问题，系统采用的都是机械元器件，更稳定、更可靠并可实现自动化；