[实用新型]干冰感测模块与自动清洗系统

说明书

本实用新型公开了一种干冰感测模块以及一种自动清洗系统，其中，该干冰感测模块包括干冰喷出装置以及感温装置。干冰喷出装置用以提供干冰粉末至多个芯片。感温装置以非接触方式感测该干冰粉末的温度。

技术领域

本实用新型涉及一种干冰感测模块与自动清洗系统，尤其是指一种以非接触干冰气体感测的方式的干冰感测模块与自动清洗系统。

背景技术

系统级封装的芯片具有完整的功能，其中Wifi、蓝牙等主动零件对于电路中的被动组件造成干扰，因此必须通过真空溅镀对芯片进行电磁隔离。激光在切口上所产生的微量焦渣黏附在芯片上，影响到溅镀层的附着强度，使屏蔽金属层无法有效附着而容易脱落，进而产生电磁泄漏，因此必须在溅镀之前清洗掉黏附在芯片上的焦渣。

现有的清洗方法是用毛刷水洗的方式，此举不仅效率低且需要废水处理。另一清洗方法是用干冰清洗。干冰清洗是向附着有污染物的被清洗物的表面喷吹固体干冰颗粒，通过干冰颗粒的碰撞及升华来从被清洗物的表面去除污染物者。上述过程之中，往往是在干冰喷出器的内部(或干冰喷出器的喷出口前安装一温度感知器，以接触气体的方式检测温度。然而，此侦测方式导致温度感知器外部会接触到干冰而降温，甚至导致温度感知器的损坏，进而导致检测温度的不准确。

因此，如何提供一种干冰感测模块与自动清洗系统来避免上述所遭遇到的问题，是业界目前极需解决的问题。

实用新型内容

本实用新型提供一种干冰感测模块与自动清洗系统，可避免感温装置因接触干冰粉末而损坏的问题，可维持并确保整体自动清洗系统清洗程度。

本实用新型的一实施例提出一种干冰感测模块，干冰感测模块包括一干冰喷出装置以及一感温装置。干冰喷出装置用以提供一干冰粉末至多个芯片。感温装置以非接触方式感测干冰粉末的温度。

本实用新型的一实施例提出一种自动清洗系统，包括一输入设备、一清洗装置、一干冰感测模块以及一输出装置。输入设备用以盛装多个芯片。清洗装置位于输入设备的下游，清洗装置用以固定自输入设备传送的各芯片。干冰感测模块连接于清洗装置，干冰感测模块包括一干冰喷出装置以及一感温装置。干冰喷出装置用以提供一干冰粉末至多个芯片。感温装置以非接触方式感测干冰粉末的温度。输出装置位于清洗装置的下游，输出装置用以接收清洗装置清洗后的各芯片。

在本实用新型的一实施例中，上述感温装置提供一感温光束，感温光束感测干冰粉末喷射至芯片的温度。

在本实用新型的一实施例中，上述感温装置配置于干冰喷出装置的外侧，感温装置未接触于干冰喷出装置。

在本实用新型的一实施例中，上述干冰喷出装置包含一喷射通道，干冰粉末通过喷射通道，感温装置不位于喷射通道之内。

在本实用新型的一实施例中，上述自动清洗系统更包括一烘干装置，烘干装置位于干冰感测模块的下游，烘干装置用以烘干各芯片。

在本实用新型的一实施例中，上述自动清洗系统更包括一集尘过滤器、一鼓风机以及一电加热器。集尘过滤器连通于清洗装置。鼓风机连接于集尘过滤器。电加热器连接于鼓风机，烘干装置连接于电加热器。

基于上述，在本实用新型所提出的干冰感测模块与自动清洗系统中，本实用新型可通过感温装置的感温光束感测干冰粉末喷射至多个芯片的温度。除此之外，由于感温装置不位于干冰喷出装置的喷射通道之内，干冰粉末通过喷射通道，故干冰粉末不会通过感温装置，并且，本实用新型也不是在干冰喷出装置前方安装感温装置，且感温装置未接触于干冰喷出装置，换言之，感温装置是以非接触方式感测干冰粉末的温度，故可避免感温装置因接触干冰粉末而降温，可降低感温装置损坏的问题，更能确保感温装置检测干冰粉末温度的正确性，故可维持并确保整体自动清洗系统清洗程度。

附图说明

图1为本实用新型提供的干冰感测模块的示意图。