[实用新型]一种氧化扩散合金退火炉上的螺旋型二硅化钼加热装置

说明书

本实用新型公开了一种氧化扩散合金退火炉上的螺旋型二硅化钼加热装置，包括外壳，外壳的内侧面上设置有炉衬，炉衬的内部设置有螺旋形二硅化钼加热元件，螺旋形二硅化钼加热元件上设置有若干U型和/或J形挂钩，螺旋形二硅化钼加热元件通过U型和/或J形挂钩安装在炉衬内。本实用新型设计合理，二硅化钼加热丝抗氧化性能好，可长期在高温氧化的环境中使用，加热丝寿命长，延长设备使用寿命，实用性强，适于推广。

技术领域

本实用新型属于氧化扩散合金退火炉领域，更具体地说，涉及一种氧化扩散合金退火炉上的螺旋型二硅化钼加热装置。

背景技术

半导体材料的氧化扩散合金退火工艺过程是在高温恒温状态下进行的，因此对加热装置要求耐高温、稳定性要好。常规的铁铬铝电阻丝加热，正常的最高使用温度不大于1280℃，当超出该温度时，电阻丝很容易烧坏。

实用新型内容

针对现有技术存在的不足，本实用新型的目的在于提供了一种氧化扩散合金退火炉上的螺旋型二硅化钼加热装置，设计合理，螺旋型二硅化钼加热体升温速度快，减短工艺周期，从而提高设备效率；二硅化钼加热丝能够长期在1350℃及以上温度稳定工作，稳定性能好，高温变形小，保障加热装置内的温度恒定，给原材料提供更好的高温恒温的工艺环境，加快氧化薄膜等生长的速率，大大提高了生产效率，同时，二硅化钼加热丝抗氧化性能好，可长期在高温氧化的环境中使用，加热丝寿命长，延长设备使用寿命，实用性强，适于推广。

为实现上述目的，本实用新型提供了如下技术方案：

一种氧化扩散合金退火炉上的螺旋型二硅化钼加热装置，与氧化扩散合金退火炉相对应，其特征在于：所述螺旋型二硅化钼加热装置包括外壳，外壳的内侧面上设置有炉衬，炉衬的内部设置有螺旋形二硅化钼加热元件，螺旋形二硅化钼加热元件上设置有若干U型和/或J形挂钩，螺旋形二硅化钼加热元件通过U型和/或J形挂钩安装在炉衬内。

作为一种优化的技术方案，所述螺旋形二硅化钼加热元件包括二硅化钼加热丝以及设置在二硅化钼加热丝两端的连接电极，连接电极贯穿炉衬和外壳且与外部电源连接。

作为一种优化的技术方案，所述二硅化钼加热丝是由二硅化钼丝螺旋绕制而成的加热丝；所述加热丝上设置有若干U型和/或J形挂钩，加热丝通过U型和/或J形挂钩安装在炉衬上；所述加热丝的螺旋内径为50-500mm。

作为一种优化的技术方案，所述炉衬是由耐火材料真空成型为硬质耐火纤维制品，厚度为50mm-300mm，数目为2-16片；每一个加热元件上设置有10-200个U型和/或J型挂钩。

由于采用了上述技术方案，与现有技术相比，本实用新型设计合理，螺旋型二硅化钼加热体升温速度快，减短工艺周期，从而提高设备效率；二硅化钼加热丝能够长期在1350℃及以上温度稳定工作，稳定性能好，高温变形小，保障加热体内的温度恒定，给原材料提供更好的高温恒温的工艺环境，加快氧化薄膜等生长的速率，大大提高了生产效率，同时，二硅化钼加热丝抗氧化性能好，可长期在高温氧化的环境中使用，加热丝寿命长，延长设备使用寿命，实用性强，适于推广。

参照附图和实施例对本实用新型做进一步说明。

附图说明

图1为本实用新型一种实施例的截面结构示意图；

图2为本实用新型一种实施例的外部的结构示意图；

图3为本实用新型一种实施例的结构示意图。

图4为本实用新型一种实施例的二硅化钼加热元件的结构示意图。

具体实施方式

实施例