[实用新型]一种束流诊断高精度直线传动装置

权利要求书

1.一种束流诊断高精度直线传动装置，其特征在于，包括探头(1)、传动杆(2)、波纹管(3)、动密封(4)、电缸(5)、光栅尺(6)；

其中，所述传动杆(2)与探头(1)通过螺钉连接；传动杆(2)穿过波纹管(3)和动密封(4)，波纹管(3)和动密封(4)通过CF超高真空法兰连接；传动杆(2)与动密封(4)通过O型密封圈(9)密封；

所述光栅尺(6)的读数头与电缸(5)的滑块连接；所述电缸(5)与传动杆(2)末端相连，所述传动杆(2)在电缸(5)的驱动下沿着导向套(10)做往复直线运动。

2.根据权利要求1所述的一种束流诊断高精度直线传动装置，其特征在于，所述光栅尺(6)反馈补偿距离到电缸(5)；电缸(5)和光栅尺(6)通过螺钉固定在支撑调节机构(7)上，支撑调节机构(7)固定在加速器外部。

3.根据权利要求1所述的一种束流诊断高精度直线传动装置，其特征在于，所述传动杆(2)穿过波纹管(3)和动密封(4)，沿着动密封前进和后退；所述波纹管(3)一端与加速器束测通道连接，另一端与动密封连接。

4.根据权利要求1所述的一种束流诊断高精度直线传动装置，其特征在于，所述动密封(4)是与波纹管(3)的一端法兰连接，动密封中间圆孔穿过与之相配的传动杆；所述电缸(5)电缸驱动传动杆(2)沿着唯一的方向进行直线运动，同时电缸提供不同的运动速度和运动模式。

5.根据权利要求2所述的一种束流诊断高精度直线传动装置，其特征在于，所述支撑调节机构(7)与电缸、光栅尺连接，其支撑平面的高度保证测量中心在同一水平面内。

6.根据权利要求1所述的一种束流诊断高精度直线传动装置，其特征在于，所述传动杆(2)前端与探头(1)连接，传动杆(2)在电缸(5)的驱动下直线传动，电缸(5)推动传动杆(2)伸入加速器内部，将探头传送到不同的位置，从而进行实时测量，获取束流的流强和位置信息。

7.根据权利要求1所述的一种束流诊断高精度直线传动装置，其特征在于，所述电缸(5)带动传动杆(2)在直线方向前进和后退，所运行速度保证在2-100mm/s；所述电缸(5)重复定位精度为0.02mm；所述光栅尺(6)精度为±0.005mm，其测量电缸运动的行程并给电缸提供补偿。

8.根据权利要求1所述的一种束流诊断高精度直线传动装置，其特征在于，所述波纹管(3)与加速器测量通道的密封法兰连接，传动杆穿过动密封并连接，保证加速器的真空环境不被破坏，保证整个装置漏率小于1.0×10^-10Pa.m³/s。

9.根据权利要求1所述的一种束流诊断高精度直线传动装置，其特征在于，所述传动杆尾端安装有多针feedthrough，前端根据需要更换不同类型的探头，靶头的信号线通过传动杆内部与feedthrough连接，feedthrough与电子学相关设备连接完成信号采集工作，从而获得束流的流强和位置信息。