[实用新型]基于光片显微镜的三维表面形貌仪有效
| 申请号： | 201721635477.2 | 申请日： | 2017-11-30 |
| 公开（公告）号： | CN207816206U | 公开（公告）日： | 2018-09-04 |
| 发明（设计）人： | 蔡夫鸿;何赛灵 | 申请（专利权）人： | 苏州优函信息科技有限公司 |
| 主分类号： | G01B11/24 | 分类号： | G01B11/24 |
| 代理公司： | 常州佰业腾飞专利代理事务所(普通合伙) 32231 | 代理人： | 滕诣迪 |
| 地址： | 215500 江苏省苏州*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 成像模块 照明模块 光片 三维表面形貌仪 本实用新型 扫描 同一光轴 测量 光轴 显微镜 光学准直器 显微镜物镜 表面形貌 镜筒透镜 逐点扫描 柱形透镜 成片状 夹角为 光源 相机 | ||
【权利要求书】：
1.一种基于光片显微镜的三维表面形貌仪，其特征在于：包括照明模块和成像模块；
所述照明模块包括光源，光学准直器和柱形透镜依次沿同一光轴设置，所述的成像模块包括显微镜物镜，镜筒透镜和相机依次沿同一光轴设置，所述成像模块的光轴与照明模块的光轴的夹角为90度；
所述的光源通过柱形透镜后只聚焦在柱形透镜焦点附近，从而形成光片；或通过点状光源照射线型激光发生器，在一个维度上以扇形发散一束准直光产生一个光片；
三维表面形貌仪下部安装一可沿X轴和Y轴移动的电机工作台，工作台水平设置。
2.根据权利要求1所述的基于光片显微镜的三维表面形貌仪，其特征在于:所述的相机为CCD或CMOS。
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