[实用新型]一种膜厚检测装置

说明书

本实用新型公开了一种膜厚检测装置，包括紫外光产生装置、膜片放置装置、装置外壳、数据处理装置和紫外光吸收检测器，紫外光产生装置设置在装置外壳的内部，位于装置外壳的后端，膜片放置装置设置在装置外壳的内部。位于紫外光产生装置的正前方，紫外光吸收检测器设置在装置外壳的内部，位于膜片放置装置的正前方，数据处理装置独立设置，连接紫外光吸收检测器，该实用新型的膜厚检测装置，通过采用紫外分光光度计的原理，利用单片膜吸收紫外光的量来定量检测膜的厚度，该种方法检测影响因素少，检测条件要求低，使得膜厚度的检测更加精确。

技术领域

本实用新型涉及检测装置领域，特别涉及一种膜厚检测装置。

背景技术

目前科学研究中的膜厚检测较为先进的方式是采用真空环境在对单片薄膜进行传感检测，这种检测方式受外界环境影响较大，测定要求过高，多种影响因素造成这种检测方式十分不精确。

类似专利CN200880107821.8本发明涉及薄膜形成装置、膜厚测定方法、膜厚传感器。本申请中提供一种即使产生剥落也能够测定正确的膜厚的技术。根据当前时刻(a0)处的膜厚传感器(15)的共振频率(f0)和紧前的过去时刻(a1)的共振频率(f1)的值算出差频(Δf0)，根据与其符号或基准值的比较结果判断有无剥落。在发生剥落的情况下，在根据在将来时刻(ax)测定的共振频率(fx)求出的增加膜厚值(T)上加上剥落的膜厚(Δt0)，求出修正膜厚值(T’)，换算为成膜对象物(18)的膜厚，与目标值进行比较，判断成膜结束。即使在膜厚传感器(15)上产生剥落，也能够求出成膜对象物(18)表面的薄膜的正确的膜厚值。

上述专利的膜厚测定传感器在检测膜厚时需要在真空条件下，这使得膜厚检测条件要求高，容易产生误差。

实用新型内容

本实用新型所要解决的技术问题是提供一种利用单片膜吸收紫外光的量来定量检测膜的厚度，该种方法检测影响因素少，检测条件要求低，使得膜厚度的检测更加精确的膜厚检测装置，以解决现有技术中导致的上述多项缺陷。

为实现上述目的，本实用新型提供以下的技术方案：一种膜厚检测装置，包括紫外光产生装置、膜片放置装置、装置外壳、数据处理装置和紫外光吸收检测器，紫外光产生装置设置在装置外壳的内部，位于装置外壳的后端，膜片放置装置设置在装置外壳的内部。位于紫外光产生装置的正前方，紫外光吸收检测器设置在装置外壳的内部，位于膜片放置装置的正前方，数据处理装置独立设置，连接紫外光吸收检测器。

优选的，所述装置外壳包括壳体和遮光盖，遮光盖连接设置在壳体上。

优选的，所述膜片放置装置包括插入装置、膜夹片和抽杆，抽杆连接设置在插入装置上，膜夹片独立设置，膜夹片与插入装置相互匹配。

优选的，所述插入装置包括装置基座和插入槽，若干插入槽等距设置在装置基座上，膜夹片插入相邻的插入槽内。

优选的，所述膜夹片包括两块相同的片体，片体的中心处设置有透光孔。

采用以上技术方案的有益效果是：本实用新型结构的膜厚检测装置，通过采用紫外分光光度计的原理，利用单片膜吸收紫外光的量来定量检测膜的厚度，代替了传统数片膜侧厚度求平均值的检测方式，使得膜厚度的检测更加精确，所述装置外壳包括壳体和遮光盖，遮光盖连接设置在壳体上，该结构能够防止漏光，能够保证薄膜吸收紫外光检测膜厚的准确性，所述膜片放置装置包括插入装置、膜夹片和抽杆，抽杆连接设置在插入装置上，膜夹片独立设置，膜夹片与插入装置相互匹配，该结构能够固定住薄膜，以便紫外光准确通过薄膜，所述插入装置包括装置基座和插入槽，若干插入槽等距设置在装置基座上，膜夹片插入相邻的插入槽内，该结构能够允许多个薄膜进行测量厚度，所述膜夹片包括两块相同的片体，片体的中心处设置有透光孔，膜夹片能够将薄膜夹在两片片体之间，使得紫外光通过透光孔照射在薄膜上。

附图说明

图1是本实用新型的结构示意图；