[实用新型]一种单晶炉连续加料装置有效
申请号: | 201721529534.9 | 申请日: | 2017-11-16 |
公开(公告)号: | CN207608655U | 公开(公告)日: | 2018-07-13 |
发明(设计)人: | 王礼彬 | 申请(专利权)人: | 四川高铭科技有限公司 |
主分类号: | C30B15/02 | 分类号: | C30B15/02;C30B15/12;C30B29/06 |
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地址: | 62500*** | 国省代码: | 四川;51 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 石英坩埚 连续加料装置 单晶炉 输料管 原料仓 本实用新型 原料过程 档件 浮力 炉盖 | ||
一种单晶炉连续加料装置,包括原料仓、输料管、内石英坩埚以及外石英坩埚,原料仓通过输料管与内石英坩埚连接,内石英坩埚设于外石英坩埚内,内石英坩埚内设有浮力档件来完成连续加入原料过程。本实用新型结构简单,实用性强,在不用打开炉盖的情况下加入适量的原料,提高生产率,降低生产成本,具有较强的实用性。
技术领域
本实用新型涉及单晶制造技术领域,尤其涉及一种单晶炉连续加料装置。
背景技术
目前,随着光伏产业的发展,单晶硅的应用越来越广泛,相应的其市场竞争也不断的加剧,那么只有降低单晶硅的生产成本才能在市场竞争中占有一席之地,而针对提高单晶硅的产量,现有技术常常通过增加投入原料的量来提升产量,增加单次投料量是降低成本的主要途径,而当前再次投料的量较少,并且需要第二次打开炉盖来投料,这样将会导致原料污染,且破坏的炉内气氛,需要再次进行对其抽真空,并且冲入保护气体,这无疑增加了生产成本,且降低了生产效率。
实用新型内容
本实用新型提供一种单晶炉连续加料装置,以解决上述现有技术的不足,在不用打开炉盖的情况下加入适量的原料,提高生产率,降低生产成本,具有较强的实用性。
为了实现本实用新型的目的,拟采用以下技术:
一种单晶炉连续加料装置,包括原料仓、输料管、内石英坩埚以及外石英坩埚,原料仓通过输料管与内石英坩埚连接,内石英坩埚设于外石英坩埚内,
所述原料仓上部设有仓盖,原料仓内部设有原料储藏腔,原料储藏腔下端设有抽真空通道与原料仓出料通道,原料仓出料通道下端设有真空阀,真空阀设于原料仓外侧;
所述输料管包括出料口与连接件,输料管上端设有连接件,连接件与原料仓出料通道下端连接,输料管下端设有出料口;
所述内石英坩埚包括熔液流通孔以及输料管孔,内石英坩埚中部设有多个贯穿的熔液流通孔,内石英坩埚法兰一侧设有输料管孔,输料管孔内设有出料口;
所述外石英坩埚内一侧设有浮力档件,浮力档件设于出料口下端,外石英坩埚内底部设有石英坩埚底座,石英坩埚底座上置有内石英坩埚。
进一步地,所述原料仓出料通道为弯曲状。
进一步地,所述仓盖通过螺栓与原料仓连接,且仓盖可拆卸。
进一步地,所述输料管露出单晶炉部分为耐热钢材,炉内部分由石墨制成。
进一步地,所述熔液流通孔数量至少为2个。
进一步地,所述石英坩埚底座下端设有贯穿通孔。
进一步地,所述浮力档件由钼制成,其形状为“L”型。
上述技术方案的优点在于:
1、与现有的开炉二次加料相比,本实用新型利用装置设有的原料仓、输料管、浮力挡件,直接可以进行二次加料,并且能够当时坩埚内所剩余的熔体量来实时的控制加入坩埚内原料的量,并且完全可以做到连续加入原料;
2、本实用新型通过其设有的抽真空通道,可以完成原料仓的单独抽真空,并且能够从抽真空通道直接冲入保护气体,从而避免在加料时对炉内气氛的破坏,增加生产效率,提高生产量;
3、本实用新型通过其设有的弯曲状的原料仓出料通道,减弱了原料进入输料管的力,从而使得进入输料管的原料保持一定的量;
4、本实用新型通过其设有的真空阀,可以有效的保护炉内气氛,能够避免由于加入原料时的误操作而破坏炉内气氛;
5、本实用新型通过其设有的熔液流通孔,使得内石英坩埚与外石英坩埚的熔体的量保持联通,并且能够保证内石英坩埚内的熔体量在拉晶过程中一直相当充分;
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