[实用新型]一种激光干涉仪光路准直辅助装置

说明书

一种激光干涉仪光路准直辅助装置，包括：左、右侧挡块，左、右紧固螺钉，垂直转向镜固定平台，连接杆，磁性表座和垂直转向镜；垂直转向镜安装在垂直转向镜固定平台上，两个右紧固螺钉穿过右侧挡块固定垂直转向镜，固定连接杆上端与左侧挡块连接，两个左紧固螺钉穿过左侧挡块固定连接杆，连接杆下端安装在磁性表座上。垂直转向镜上方有两个微调旋钮，可对射向测量反射镜的激光束在前后、左右方向快速调整，提高光路准直调整范围。由于垂直转向镜具有微调功能，当测量反射镜移动至距离辅助装置最远的位置时，操作者能在辅助装置旁直观地观察射向测量反射镜的激光束偏离情况，并对激光束入射方向进行快速调整，保证光路准直过程的稳定和准确。

技术领域

本实用新型属于计量领域，涉及一种激光干涉仪光路准直辅助装置。

背景技术

目前，使用激光干涉仪对数控机床线性位置精度测量是国际上通用的方法。在对数控机床线性位置精度测量之前，光路准直是很重要的一项工作。

在现有技术中，使用激光干涉仪对数控机床线性位置精度的测量一般包括三根运动轴，即两根互相垂直的水平运动轴和一根垂直运动轴。使用激光干涉仪及其光学组件对水平运动轴的光路准直，通过“远调激光，近调镜组”的方法可以比较容易实现。

使用激光干涉仪及其光学组件对垂直运动轴的光路准直，需要将激光头发出的激光束通过干涉镜，经干涉镜反射90度到达固定在被测运动轴上的测量反射镜，经测量反射镜反射再次到达干涉镜，经干涉镜反射90度最终到达激光头的接收孔中。调整使激光头的接收孔在被测运动轴运动全长上得到近似恒定的光强信号。

但是在对垂直运动轴的光路准直过程中，当测量反射镜移动至距离干涉镜组最远的极限位置时，激光头发出的激光束经干涉镜反射90度后极易偏离测量反射镜，此时需要对激光头、干涉镜组和测量反射镜进行调整。对激光头的微调机构在俯仰、扭摆或水平、垂直移动调整过程中，一方面由于位置关系操作者很难观察到激光束经过干涉镜之后的路径变化，另一方面极易出现激光头的微调机构到达极限位置，而激光头的接收孔还没有接收到激光束的情况。而测量反射镜固定在被测运动轴上，调整范围往往有限。干涉镜组没有光路微调机构，对干涉镜的微调很难准确控制，经常发生光路偏移的现象。因此，对垂直运动轴的光路准直过程中，存在观察角度不便、微调机构调整范围小、调整稳定性低的问题。针对上述问题，我们经过多次试验与改进，研制出一种激光干涉仪光路准直辅助装置，这种辅助装置配合激光干涉仪有效地解决了上述问题。

实用新型内容

本实用新型的目的在于提供一种结构紧凑，操作方便，能够配合激光干涉仪稳定测量的激光干涉仪光路准直辅助装置。

本实用新型的技术方案是：一种激光干涉仪光路准直辅助装置，包括：左侧挡块，左紧固螺钉，垂直转向镜固定平台，右侧挡块，右紧固螺钉，连接杆，磁性表座和垂直转向镜；垂直转向镜安装在垂直转向镜固定平台上，两个右紧固螺钉穿过右侧挡块固定垂直转向镜，固定连接杆上端与左侧挡块连接，两个左紧固螺钉穿过左侧挡块固定连接杆，连接杆下端安装在磁性表座上。

垂直转向镜上方对角线位置安装有第一微调旋钮和第二微调旋钮。

本实用新型采用上述技术方案后取得的有益效果是：垂直转向镜上方的两个微调旋钮，可以对射向测量反射镜的激光束在前后、左右方向快速调整，能够提高光路准直调整范围。由于垂直转向镜具有微调功能，当测量反射镜移动至距离辅助装置最远的极限位置时，操作人员能够在辅助装置旁直观地观察射向测量反射镜的激光束偏离情况，并对激光束的入射方向进行快速调整。该实用新型的左右挡块和紧固螺钉能够将垂直转向镜稳固的安装在垂直转向镜固定平台上，保证了光路准直过程的稳定性。

附图说明

图1为本实用新型一种激光干涉仪光路准直辅助装置的结构示意图；

图2为本实用新型一种激光干涉仪光路准直辅助装置的使用状态图。

具体实施方式