[实用新型]一种单晶硅加料器

权利要求书

1.一种单晶硅加料器，包括外筒，其特征在于：所述外筒表面设置有多个调节法兰，调节法兰沿外筒轴线方向设置，所述调节法兰上沿其轴线方向设置有多个调节孔，所述调节法兰外套设有导向圈，导向圈上沿圆周方向设置有至少一个定位孔；所述定位孔和调节法兰上的调节孔相对应，在定位孔和调节孔中设置连接件，导向圈通过连接件固定安装在调节法兰上。

2.根据权利要求1所述的单晶硅加料器，其特征在于：所述调节法兰为条形结构，调节孔沿调节法兰长度方向设置在调节法兰的外表面上。

3.根据权利要求2所述的单晶硅加料器，其特征在于：所述导向圈内侧在调节法兰位置设置有与调节法兰配合的导槽。

4.根据权利要求1所述的单晶硅加料器，其特征在于：所述外筒表面设置有四个调节法兰，各调节法兰沿外筒圆周方向均布设置。

5.根据权利要求4所述的单晶硅加料器，其特征在于：所述导向圈上沿圆周方向设置有两个或四个定位孔，所述定位孔在导向圈上均布设置。

6.根据权利要求1所述的单晶硅加料器，其特征在于：所述调节孔和定位孔为螺纹孔，所述连接件为定位螺钉。