[实用新型]一种用于直拉单晶炉抽空管道的清理装置

说明书

一种用于直拉单晶炉抽空管道的清理装置由弹簧杆、把手和刷头组成，把手安装固定在弹簧杆的一端，刷头安装固定在弹簧杆的另一端；所述的刷头呈圆盘状，沿边沿固定设置刷毛，刷头的盘面与弹簧杆垂直设置。有益效果在于：操作简单、使用方便，省时省力，能够彻底将抽空管道中的堆积物清除干净，减少管道堵塞风险及晶体品质异常的风险；提高了清理工作的效率和质量，保证了设备的正常有效工作，提高了单晶炉的成晶效率及晶体品质。

技术领域：

本实用新型具体涉及一种单晶炉抽空管道的清理工具。

背景技术：

使用MCZ法拉制单晶硅棒是通过单晶炉加工生产的，生产过程必须是在惰性气体的环境中完成。单晶炉是由机架、主炉室、副炉室、翻板阀、坩埚升降旋转驱动装置、籽晶升降旋转驱动装置、炉体升降驱动装置、真空系统、充气系统及水冷系统等组成，炉体内的氩气由充气系统控制，晶体在生长过程中，炉体内氩气自上而下贯穿单晶生长区域，不但保证了单晶生长环境压力的稳定，而且会及时将因为高温产生的硅氧化物和杂质挥发物带走，从而保证了硅单晶的成晶率和品质，最后带有大量硅氧化物和杂质挥发物的气体经炉台抽空管道、排烟管道、除尘管道等利用主真空泵从炉台内部排出。但是，在生产过程中发现，高温挥发物在抽出炉体的过程中，因抽空管道(不锈钢件)内壁过冷，部分会附着在管道内壁上，随着运行时间的增长，挥发物呈递增趋势缓慢堆积，在一定程度上堵塞抽空管道，炉内挥发物及硅氧化无不能及时排除，造成炉内返气现象，从而影响成晶及晶体品质，使单晶炉不能正常运行。

为了提高单晶炉的生产质量，保证成晶率和品质，必须定时对炉台抽空管进行清理，然而受到单晶炉磁场影响，一些效果较好的电工清理工具使用存在极大的危险，无法使用，只能人工采用简单工具辅助清理。通常的清理方法是利用一个不会导电导磁的杆，在杆头包裹无尘布，伸入到抽空管中反复抽拉进行管道清理，因抽空管道两侧均有弯管，此种工具不易弯曲，管道清理不彻底，管道内壁挥发物反复堆积，更易加剧管道堵塞的风险。为了方便清理抽空管道两侧的弯管，为清理工具设计了弯曲的弯头，但是弯头工具不好控制，不能覆盖管面，清理较为片面，并且会造成挥发物及硅氧化无二次堆积飞现象。

发明内容：

本实用新型的目的就是为了解决单晶炉抽空管道清理困难，且清理不干净的问题，提供一种专门针对直拉单晶炉抽空管道清理使用的清理装置。

为了实现上述目的，本实用新型所采用的技术方案是设计一根弹簧杆件，一端设置把手，另一端固定安装一个圆盘状的刷头，利用圆盘边沿与抽空管道内壁活塞式接触，在圆盘边沿设置钢丝刷结构，清理管道侧壁，可以大面积充分接触抽空管道内壁并对管道进行清理；弹簧杆在反复推进清理管道的过程中，可以随抽空管道的弯道变化相应弯曲，不会影响刷头行动；往返多次即可彻底将抽空管道清理干净。

本实用新型用于直拉单晶炉抽空管道的清理装置由弹簧杆、把手和刷头组成，把手安装固定在弹簧杆的一端，刷头安装固定在弹簧杆的另一端；所述的刷头呈圆盘状，沿边沿固定设置刷毛，刷头的盘面与弹簧杆垂直设置。

所述的弹簧杆、把手和刷头采用绝磁材料制成。

所述的弹簧杆采用硬质弹簧结构，如不锈钢弹簧。

所述的刷头在盘面中心位置固定设置安装孔，通过螺栓固定安装在弹簧杆端部。

所述的刷头上的刷毛采用钢丝刷结构。

本实用新型的有益效果在于：操作简单、使用方便，省时省力，能够彻底将抽空管道中的堆积物清除干净，减少管道堵塞风险及晶体品质异常的风险；提高了清理工作的效率和质量，保证了设备的正常有效工作，提高了单晶炉的成晶效率及晶体品质。

附图说明：

附图1是本实用新型的结构示意图。

图中：弹簧杆1、把手2、刷头3、刷毛31、螺栓32。

具体实施方式：