[实用新型]高精度智能化洁净室系统

说明书

本案涉及一种高精度智能化洁净室系统，包括：洁净室，其自上向下分别设置有进气层、工作层与回流层，所述回流层包括第一横板，所述第一横板下部滑动设置在第一导轨上，所述第一横板上部设置有垂直于所述第一导轨的第二导轨，所述第二导轨上滑动设置有换气箱，所述换气箱上部设有可以打开或者关闭的换气口，所述换气箱的一侧设有进气口与出气口，所述回流层的侧壁设有进气管与第一出气管；以及空气净化机，其与所述进气管、第一出气管连通，所述空气净化机包括第二出气管，所述第二出气管与所述进气层连通。本案节省能源，整体精度提高，并且随着洁净度的不同需要可以调整洁净度测量单元控制换气箱进行清理的频率。

技术领域

本实用新型涉及洁净室领域，特别涉及一种高精度智能化洁净室系统。

背景技术

洁净室的发展与现代工业、尖端技术密切联系在一起。由于精密机械工业(如陀螺仪、微型轴承等加工)、半导体工业(如大规模集成电路生产)等对环境的要求，促进了洁净室技术的发展。国内曾统计过，在无洁净级别的要求的环境下生产MOS电路管芯的合格率仅10％-15％，64位储存器仅2％。目前在精密机械、半导体、宇航、原子能等工业中应用洁净室已相当普遍。

洁净室系统能耗高，且大空间的洁净室系统还存在精度难以控制的问题。

实用新型内容

本实用新型的一个目的是解决至少上述问题或缺陷，并提供至少后面将说明的优点。

本实用新型还有一个目的是提供一种高精度智能化洁净室系统，通过洁净度测量单元判断不同区划内的空气洁净程度，发现某一区域的洁净度不达标时，通过将换气箱抽真空后移动到该区域对应的通气口处，顶升气缸上顶使得密封环密封通气口与换气口，空气净化机打开第二出气管向进气层、工作层注入洁净空气，使得工作层比外界高出一定压强后，打开换气口，将对应区划内的不达标空气吸入换气箱，关闭换气口后，顶升气缸下降，换气箱移动至初始处与空气净化机连通，通过空气净化机首先将换气箱中的不达标气体过滤、排出，并对换气箱内形成通风气流进一步清洁后，最后再通过空气净化机将换气箱抽真空准备下一次的操作，如此，通过精确的有针对性的清理，节省能源，整体精度提高，并且随着洁净度的不同需要可以调整洁净度测量单元控制换气箱进行清理的频率。

为此，本实用新型提供的技术方案为：

一种高精度智能化洁净室系统，包括：

洁净室，其自上向下分别设置有进气层、工作层与回流层，所述回流层包括第一横板，所述第一横板下部滑动设置在第一导轨上，所述第一横板上部设置有垂直于所述第一导轨的第二导轨，所述第二导轨上滑动设置有换气箱，所述换气箱上部设有可以打开或者关闭的换气口，所述换气箱的一侧设有进气口与出气口，所述回流层的侧壁设有进气管与第一出气管；以及

空气净化机，其与所述进气管、第一出气管连通，所述空气净化机包括第二出气管，所述第二出气管与所述进气层连通；

其中，所述工作层划分为若干个底部与所述换气箱顶部平面大小、形状均一致的区隔，每个所述区隔底部开设有与所述换气口对应的通气口，每个所述区隔中设置有洁净度测量单元。

优选的是，所述第一横板与第一气缸的伸缩端固定连接，所述第一气缸固定在所述回流层侧壁上。

优选的是，所述第一横板底部与所述第一导轨构成第一直线电机。

优选的是，所述第二导轨与所述换气箱的底部构成第二直线电机，所述第二直线电机与所述洁净度测量单元电连接。

优选的是，所述第一气缸或者第一直线电机与所述洁净度测量单元电连接。

优选的是，所述工作层的高度占所述洁净室高度的比例>60％。

优选的是，所述换气箱的高度占所述工作层的高度的比例>30％。