[实用新型]一种全自动特殊气体四瓶供应柜

说明书

一种全自动特殊气体四瓶供应柜，它涉及特殊气体输送技术领域。它包含柜体、控制显示单元、气瓶工作单元、吹扫单元、报警单元；柜体为密闭装置，控制显示操作单元设置在柜体表面的上部，气瓶工作单元、吹扫单元、报警单元设置在柜体的内部且气瓶工作单元、吹扫单元、报警单元为一个整体。采用上述技术方案后，本实用新型有益效果为：它利用计算机控制技术，实现按气体换瓶流程编好程式，通过程式控制气动阀自己完成换瓶前吹扫、钢瓶接口泄漏测试、换瓶后吹扫，从而避免因人为误操作引起的设备损害和人身危害。

技术领域

本实用新型涉及特殊气体输送技术领域,具体涉及一种全自动特殊气体四瓶供应柜。

背景技术

在半导体、光伏相关产业常用的制程中需要使用带许多特殊气体，其中一些有毒、腐蚀、可燃的气体危害性相当高，一旦这些气体供应系统发生阀件适当损坏(如受腐蚀或人为操作失误等因素)造成气体泄漏，将威胁到人员生命安全、设备损失及生产中断，其危害性是让我们必特别重视且不可小看的。其中特殊气体分配箱在半导体产业中使用非常广泛。在半导体产业发展的初期曾发生不少的事故。数据显示，特殊气体分配箱意外事故常造成事业单位财产损失、环境污染、人员伤亡、爆炸及死亡问题。而造成意外事故的主要原因为人为失误。国内半导体厂都采用各种管理及危害分析方法来达到风险的适当控制，但在人员手动控制的状态下，仍然无法降低风险性。

特殊气体供应柜主要用在半导体、光伏产业中为工艺机台连续配送工艺气体。因工艺一般为钢瓶包装，在工厂运转过程中须不断更换新的气体钢瓶，拆除在线的用空的气体钢瓶，我们称之为钢瓶更换流程。在钢瓶更换过程中为保证有毒有害气体不外漏威胁到人身安全，拆除用空的钢瓶前，须用高纯氮气置换与钢瓶相连的管线内的有毒有害气体，这在钢瓶更换流程称之为换瓶前吹。为确保有毒有害气体能置换干净，须重复开关排空阀和吹扫阀60次以上。当空钢瓶拆除换装上新的钢瓶后须对新装好的钢瓶接口做泄漏测试。对泄漏测试通过的钢瓶我们要做换瓶后吹扫，以清除换瓶过程中有可能带入气体管线的空气、水分和微小的颗粒。这个过程须连续持续3至4小时。

实用新型内容

本实用新型的目的在于针对现有技术的缺陷和不足，提供一种全自动特殊气体四瓶供应柜，它利用计算机控制技术，实现按气体换瓶流程编好程式，通过程式控制气动阀自己完成换瓶前吹扫、钢瓶接口泄漏测试、换瓶后吹扫，从而避免因人为误操作引起的设备损害和人身危害。

为实现上述目的，本实用新型采用以下技术方案是：它包含柜体1、控制显示单元2、气瓶工作单元3、吹扫单元4、报警单元5；柜体1为密闭装置，控制显示操作单元2设置在柜体1表面的上部，气瓶工作单元3、吹扫单元4、报警单元5设置在柜体1的内部且气瓶工作单元3、吹扫单元4、报警单元5为一个整体。

所述的柜体1设置有左右两扇相同的门11，门11的上部设置有观察窗12，观察窗12为防爆玻璃观察窗，门11的下部设置有柜门气栅门13。观察窗12用于观察柜体1内各单元的工作情况。

所述的控制显示操作单元2包含微处理器21、显示屏和操作单元为触摸屏22；显示屏和操作单元在柜体1的上部且同侧，操作单元连接微处理器21。微处理器21用于控制触摸屏22。

所述的气瓶工作单元3设置在柜体1的内部，它包含四个相同规格的气瓶31，且包含气动隔离阀32、压力传感器33、过滤器34、工作管路35、工艺气体出口阀36、气瓶秤37、调压阀38；气瓶31出口端连接过滤器34、调压阀38、工艺气体出口阀36；压力传感器33的数量为6个，设置在气动隔离阀32出口一端和调压阀38后的工作管路35内，并连接微处理器21；气瓶秤37放置在气瓶31下，并连接微处理器21。气动隔离阀32、压力传感器33、过滤器34、工作管路35、工艺气体出口阀36、气瓶秤37、调压阀38通过工作管路35连接气瓶31的出口，且均由微处理器21控制。