[实用新型]一种真空烤箱

权利要求书

1.一种真空烤箱，包括烤箱本体(1)，其特征在于，所述烤箱本体(1)上设有与其箱内连通的抽气管路(2)，所述抽气管路(2)的出气端设有抽气装置(4)，所述抽气管路(2)上设有控制其管路通断的组合阀门装置，所述烤箱本体(1)上设有与其箱内连通的供气管路(3)，所述供气管路(3)上设有控制其管路内气体流量的流量控制装置，所述的烤箱本体(1)上设有检测箱内的真空度的真空计(9)，所述烤箱本体(1)上设有与所述的组合阀门装置、流量控制装置以及真空计(9)连接的控制单元(7)，还包括在所述烤箱本体(1)上设有的与所述控制单元(7)连接的显示单元(8)。

2.根据权利要求1所述的一种真空烤箱，其特征在于，所述的组合阀门装置包括设置在所述抽气管路(2)上设有的角阀(10)和控制所述角阀(10)开启或闭合的电磁阀(11)，所述的电磁阀(11)与所述控制单元(7)连接。

3.根据权利要求2所述的一种真空烤箱，其特征在于，所述的抽气装置(4)为双级真空泵。

4.根据权利要求2所述的一种真空烤箱，其特征在于，所述的抽气管路(2)设置在所述烤箱本体(1)的背侧，并且所述抽气管路(2)的进气口设置在所述烤箱本体(1)的上端。

5.根据权利要求1-4任意一项中所述的一种真空烤箱，其特征在于，所述的流量控制装置包括在所述供气管路(3)上设有的流量调节阀(5)和流量检测装置(6)。

6.根据权利要求5中所述的一种真空烤箱，其特征在于，所述流量检测装置(6)设置在所述供气管路(3)的进气端，所述的流量检测装置(6)为微型流量计。

7.根据权利要求5所述的一种真空烤箱，其特征在于，所述烤箱本体(1)的箱内上设有与控制单元(7)连接的真空温度传感器(12)。