[实用新型]一种新型氮气干燥装置

说明书

本实用新型公开了一种新型氮气干燥装置，其包括罐体、盘管、翅片、换热管、上下支撑板构件，所述盘管直接放置在罐体底部，带有翅片的换热管放置在上下支撑板间固定，罐体上面采用快开盲板设计。氮气进口设置在盘管上方，氮气出口设置在快开盲板下方。本新型氮气干燥装置，设计科学合理，氮气处理量大，干燥效果好，相比其他氮气干燥处理方式更加环保、节能，能够广泛应用于工业氮气干燥领域。

技术领域

本实用新型专利属于半导体生产，液体硅胶生产，以及需要使用干燥氮气的各个领域。

背景技术

在半导体生产过程中扩散工艺是一件非常重要的工序，其中晶圆的扩散一般在扩散炉内完成，在这一过程中，需要对扩散炉内注入足够的氮气和氧气，保证扩散炉处于正压状态。该生产过程就需要干燥的氮气。其次在一些液体硅胶生产过程中同样需要干燥的氮气充入反应釜以作为保护气，同时干燥的氮气不会影响产品生产的质量。还有在制冷行业，制冷系统的压力试验也需要干燥的氮气，干燥的氮气可以防止制冷系统内部进入水蒸气，如果进入水蒸气会导致制冷系统结冰造成冰堵。所以，在工业生产中干燥氮气的使用领域是非常广泛的，而目前工业上氮气的干燥多采用分子筛或者干燥介质进行干燥，这两种方法成本高，污染大，与节能环保的方针相违背，本新型氮气干燥装置便能解决这些问题。

发明内容

本实用新型所要解决的技术问题是提供一种氮气干燥装置，其采用罐体的方式，拥有干燥量大、冷凝速度快等优点，相比现有的氮气干燥装置来说成本较低，干燥效率高，操作简单，实用性强。

为解决所述技术问题，本发明提供的技术方案如下：

本实用新型专利公开了一种新型氮气干燥装置，其包括罐体、盘管、翅片、换热管、上下支撑板结构，所述盘管直接放置在罐体底部，同时盘管设置进出口，通过与外界的热流体相连接实现加热，防止结冰堵塞，所述支撑板焊接在罐体内壁用来支撑与固定板翅式换热装置在罐体内的位置，所述带有翅片的换热管放置在上下支撑板间固定，氮气进入罐体后，经过翅片板，翅片板的换热管通入经过制冷的乙二醇，当翅片板温度达到了水蒸气的冷凝点，氮气与翅片接触后，水蒸气发生冷凝，形成的液珠流入罐底排出罐外，并有部分液珠结冰附着在翅片上，经过冷凝脱水的氮气通过出口管道排出，整个罐体顶部采用快开法兰设计，便于罐体内部的维护和检修。

本实用新型的进步效果在于：结构设计新颖合理，罐体的两用，既保持了冷凝空间又确保了析出的水蒸气的排放，其次方形翅片式换热装置的设计，既保证了很大的接触面积，又保证了冷凝效果，从而达到处理量大、干燥效率高的效果。最后就是罐底盘管的设计，对可能结冰的隐患做了充分的考虑，设计合理，确保了罐体工作的稳定性，适合处理量比较大的氮气干燥工作。

附图说明：

图1为本实用新型结构示意图

图2为本实用新型支撑板结构图

图3为本实用新型方形翅片换热装置的结构图

图中：排污出口1、盘管2、氮气入口3、下支撑板4、换热管5、方形铝片6、上支撑板7、氮气出口8、快开法兰9。

具体实施方式：

本实用新型由以下实施例给出，下面结合附图对本实用新型作进一步描述。

如图1所示：排污出口1设置在罐体底部，盘管2直接放置在罐体排污出口1上部，氮气入口设置在下支撑板4下方，罐体下部形成进气与排液一体的部分，同时在这一部分设置了盘管，能够对可能形成的冰水混合物进行升温融化，防止堵塞。罐体上部换热管5与方形铝片进行连接，固定在上支撑板7与下支撑板4之间，在上支撑板7上方设置氮气排出口8，罐体顶部采用快开法兰9。