[实用新型]一种多晶硅铸锭炉有效
| 申请号: | 201721173981.5 | 申请日: | 2017-09-14 |
| 公开(公告)号: | CN208167152U | 公开(公告)日: | 2018-11-30 |
| 发明(设计)人: | 张靖;田晓军;姚兴平;李素琴;张何;严磊 | 申请(专利权)人: | 江苏新潮光伏能源发展有限公司 |
| 主分类号: | C30B28/06 | 分类号: | C30B28/06;C30B29/06 |
| 代理公司: | 南京苏创专利代理事务所(普通合伙) 32273 | 代理人: | 王华 |
| 地址: | 225600 江苏省扬州市高邮经*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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| 摘要: | |||
| 搜索关键词: | 坩埚 多晶硅铸锭炉 炉体内壁 护板 内壁 导热 本实用新型 转动连接 大轴承 圆孔 转轴 三相异步电机 活塞 氩气 表面固定 表面开设 侧面固定 齿槽啮合 上端固定 氩气用量 环流 固定套 进气管 连接管 上表面 齿轮 齿槽 弹簧 硅锭 滚轮 炉体 扇叶 通孔 镶嵌 外部 | ||
本实用新型公开了一种多晶硅铸锭炉,包括炉体,所述炉体内壁的顶部固定镶嵌有连接管,所述炉体内壁底部开设圆孔,圆孔内转动连接转轴,所述转轴的上端固定连接有导热块,所述导热块的上表面固定连接有坩埚护板,所述坩埚护板的内壁与坩埚的表面固定连接,所述坩埚护板的表面与大轴承的内壁固定连接,所述大轴承的外部固定套接有圆筒,所述圆筒的内壁转动连接扇叶,所述圆筒的表面开设有齿槽,所述齿槽啮合有齿轮,所述炉体内壁的一侧面固定连接有连接块。本实用新型通过设置圆筒、三相异步电机、通孔、活塞、进气管、弹簧和滚轮,解决了目前多晶硅铸锭炉大都采用氩气环流保护硅锭,氩气用量较大,造成资源浪费的问题。
技术领域
本实用新型涉及多晶硅生产设备技术领域,具体为一种多晶硅铸锭炉。
背景技术
多晶硅,是单质硅的一种形态,多晶硅是生产单晶硅的直接原料,是当代人工智能、自动控制、信息处理、光电转换等半导体器件的电子信息基础材料,被称为“微电子大厦的基石”,铸锭炉是专为太阳能工业设计的专用设备,是多晶硅铸锭的必需设备。
目前多晶硅铸锭炉大都采用氩气环流保护硅锭,氩气用量较大,造成资源浪费。
实用新型内容
(一)解决的技术问题
针对现有技术的不足,本实用新型提供了一种多晶硅铸锭炉,解决了目前多晶硅铸锭炉大都采用氩气环流保护硅锭,氩气用量较大,造成资源浪费的问题。
(二)技术方案
为实现上述目的,本实用新型提供如下技术方案:一种多晶硅铸锭炉,包括炉体,所述炉体内壁的顶部固定镶嵌有连接管,所述炉体内壁底部开设圆孔,圆孔内转动连接转轴,所述转轴的上端固定连接有导热块,所述导热块的上表面固定连接有坩埚护板,所述坩埚护板的内壁与坩埚的表面固定连接,所述坩埚护板的表面与大轴承的内壁固定连接,所述大轴承的外部固定套接有圆筒,所述圆筒的内壁转动连接扇叶,所述圆筒的表面开设有齿槽,所述齿槽啮合有齿轮,所述炉体内壁的一侧面固定连接有连接块,所述连接块的另一侧固定连接有三相异步电机,所述齿轮固定套接在三相异步电机输出轴的表面,所述圆筒的内壁开设有通孔,所述圆筒的内壁活动连接有活塞,所述活塞顶部开设穿孔的内壁与防水轴承的外壁固定连接,所述防水轴承的内壁与进气管的表面固定连接,所述进气管的表面与连接管的内壁活动连接。
所述炉体顶部开设小孔的内壁与圆杆的表面活动连接,所述圆杆的下端固定连接有支撑座,所述圆杆的表面活动套接有弹簧,所述弹簧的两端分别与炉体内壁的顶部和支撑座的上表面搭接,所述支撑座的内壁通过销轴活动连接有滚轮,所述滚轮与活塞的顶部搭接。
优选的,所述活塞的侧面固定连接有滑块,所述炉体内壁对应滑块位置处开设有滑槽,且滑块的表面与滑槽的内壁滑动连接。
优选的,所述通孔与滑槽相连通,所述滑块位于滑槽内壁的底部。
优选的,所述进气管的表面活动套接有橡胶垫,且橡胶垫位于进气管凸起部位的下方。
优选的,所述齿轮位于齿槽的中部,且齿槽的宽度等于坩埚在竖直方向运动的距离。
优选的,所述扇叶呈等腰梯形,且上底的长度为下底长度的五倍。
(三)有益效果
本实用新型提供了一种多晶硅铸锭炉,具备以下有益效果:
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