[实用新型]测试台及椭偏仪

说明书

技术领域

本实用新型涉及测量仪器技术领域，尤其是涉及一种测试台及椭偏仪。

背景技术

椭偏仪是一种用于探测薄膜厚度、光学常数以及材料微结构的光学测量仪器。由于具有测量精度高、适用于超薄膜、与样品非接触、对样品没有破坏且不需要真空等优点，椭偏仪已成为一种极具吸引力的测量仪器。在测试过程中，要得到准确的测试结果，照射在薄膜上的激光的入射角必须固定角度，这就要求测试台的相对水平度固定。

如图1和图2所示，在现有技术中，椭偏仪的测试台底部均无水平度调节装置，无法满足测试台水平度固定的需要，容易出现测试不准确的情况。

实用新型内容

本实用新型第一方面提供一种测试台，以缓解现有技术中测试台无法满足水平度固定而使测试结果不准确的技术问题。

本实用新型提供的测试台包括：测试平台和调节基座；调节基座包括水平调节组件，水平调节组件支撑于测试平台的下方，通过调节水平调节组件在支撑点处的支撑高度使测试平台水平。

进一步的，水平调节组件包括支撑块和多个螺杆；每个螺杆均沿竖直方向贯穿支撑块且与支撑块螺纹连接，螺杆的顶端与测试平台抵接。

进一步的，调节基座还包括高度调节组件，高度调节组件包括支撑板和升降元件，升降元件支撑在支撑板的下方，支撑板支撑在测试平台的下方。

进一步的，升降元件包括第一调节管和与第一调节管螺纹配合的第二调节管，第二调节管的一端伸出第一调节管且与支撑板的底面连接；第二调节管上固定套有用于带动第二调节管绕其自身轴线转动的调节环。

进一步的，高度调节组件还包括处于拉伸状态的弹性件，弹性件位于第一调节管和第二调节管内，且一端与支撑板连接，另一端与第一调节管的底部连接。

进一步的，测试台还包括倾斜组件，倾斜组件设于调节基座，用于将测试平台倾斜至设定角度。

进一步的，倾斜组件包括支撑柱，支撑柱的底端安装于水平调节组件上，顶端支撑测试平台；支撑柱顶端具有倾斜面，测试平台可沿倾斜面倾斜。

进一步的，支撑柱的顶端与测试平台通过转轴转动连接，测试平台可相对于转轴转动。

进一步的，支撑柱上设有锁紧件，测试平台水平设置时，锁紧件用于防止测试平台绕转轴的轴线转动的。

本实用新型第二方面提供一种椭偏仪，椭偏仪包括上述的测试台。

本实用新型提供的测试台及椭偏仪，测试台包括：测试平台和调节基座；调节基座包括水平调节组件，水平调节组件支撑于测试平台的下方，通过调节水平调节组件在支撑点处的支撑高度使测试平台水平。在测试过程中，测试平台的上端面不满足水平度要求时，调节调节组件在支撑点处的支撑高度，改变测试平台对应处的高度，调节组件在多个支撑点处配合，将测试平台调至满足水平度要求的位置，防止测试平台的水平度不满足要求而影响测试结果。

附图说明

为了更清楚地说明本实用新型具体实施方式或现有技术中的技术方案，下面将对具体实施方式或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图是本实用新型的一些实施方式，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。

图1为现有技术中测试台的结构示意图一；

图2为现有技术中测试台的结构示意图二；

图3为本实用新型实施例提供的测试台的结构示意图一；

图4为图3的右视图；

图5为本实用新型实施例提供的测试台的结构示意图二。

图标：100－测试平台；210－水平调节组件；211－支撑块；212－螺杆；220－高度调节组件；221－支撑板；222－升降元件；2221－第一调节管；2222－第二调节管；2223－调节环；2224－螺旋弹簧；230－支撑座；300－支撑柱；310－转轴；320－插销；400－底座。

具体实施方式

下面将结合附图对本实用新型的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。