[实用新型]一种用于真空炉的进料装置

说明书

本实用新型涉及一种用于真空炉的进料装置，属于真空辅助设备技术领域。本实用新型包括反应管、坩埚、推杆密封系统，推杆密封系统包括密封圈、密封圈支架、盲板、推杆密封圈、金属压盘、螺钉、带标尺的推杆、推板、盲板穿孔和盲板密封凸台孔，推杆密封圈与盲板凸台孔相匹配；推杆与推板靠螺钉连接；金属压盘上有均匀分布的通孔；盲板密封凸台孔周围有与金属压盘上的通孔相对应的螺孔；盲板密封凸台孔不可穿透盲板；螺钉与金属压盘上的通孔和盲板上的螺孔相匹配。本实用新型优点在于结构简单，密封性优良，操作简便，克服了现有的真空炉在真空、高温时难以进料的困难。

技术领域

本实用新型涉及一种用于真空炉的进料装置，属于真空辅助设备技术领域。

背景技术

在实际应用真空CVD炉的过程中，由于实验要求精准可控，物料须在特定的温度、位置等条件下参与反应，不经过变温或变压过程；但真空CVD炉本身就存在高温时不能进料的限制，一旦启动真空CVD炉，在一定的气氛及气压下，物料位置再无法移动。如若高温开腔放置物料，气氛必将遭到破坏。

发明内容

本实用新型要解决的问题是提供一种用于真空炉的进料装置，以真空炉设备为基础，通过在反应管两端加装有密封推杆装置，来实现在高温真空下物料的移动，以避免降温后放置物料再升温的反复过程，同时有效地保障了整个反应体系的密封性。

本实用新型采用的技术方案是：一种用于真空炉的进料装置，包括反应管1、坩埚2、推杆密封系统，推杆密封系统包括密封圈3、密封圈支架4、盲板5、推杆密封圈6、金属压盘7、螺钉8、带标尺的推杆9、推板10、盲板穿孔11和盲板密封凸台孔12；

所述的坩埚2放置在反应管1内，盲板5设有凸台，盲板穿孔11和盲板密封凸台孔12设置在盲板5上，盲板密封凸台孔12不穿透盲板5且其内侧有螺纹，带标尺的推杆9可通过盲板穿孔11自由拉伸，推板10连接在带标尺的推杆9的一端，与反应管1内壁下方恰好接触，推杆密封圈6、金属压盘7套在带标尺的推杆9上，金属压盘7上设有与盲板密封凸台孔12对应的螺纹孔，推杆密封圈6用于密封盲板穿孔11，螺钉8穿过金属压盘7上的螺纹孔和盲板密封凸台孔12将金属压盘7与盲板5连接在一起，密封圈3套在密封圈支架4上，然后盲板5对着密封圈支架4，一起密封反应管1的开口，带标尺的推杆9自由拉伸时，通过推动推板10沿反应管1内壁移动来推进坩埚2进料。

所述的推板10的形状为弧形，所述的推板10采用不锈钢材料制成。

所述的盲板穿孔11的位置与推板10的高度相匹配，以确保带标尺的推杆9处于水平位置。

所述的带标尺的推杆9的原材料可采用304不锈钢、石英或刚玉。

所述的推杆密封圈6采用氟胶圈，金属压盘7和螺钉8材质选择不锈钢。

所述的反应管1的两端均设有坩埚2、推杆密封系统。

所述的推板10与带标尺的推杆9为一体式结构。

本实用新型的工作原理是：实验前，盛有物料的坩埚2置于反应管1的管口处，待实验正常进行时，在合适的时候，推动带标尺的推杆9进料，带标尺的推杆9通过在盲板穿孔11中运动，进而推动推板10向前运动，推板10将坩埚2推入反应管1中的实验所需的位置后，拉动带标尺的推杆9于进料前的原始位置。实验结束后，取下盲板5和其连带着的推杆密封系统，就可以取出样品。

本实用新型的有益效果是：

1)、本实用新型的一种用于真空炉的进料装置，通过在反应管两端加装有推拉杆装置，实现在高温实验时进料。

2)、本实用新型以真空炉为基础，使用常见的密封材料，在加装进料推拉杆后仍然满足实验需要的真空度。

附图说明

图1是本实用新型的整体结构爆炸示意图；