[实用新型]防止DI Max漏水的供水装置

说明书

本实用新型提供了一种防止DIMax漏水的供水装置，包括依次相连的机台腔体、回水管路、DIMax和带内外双层供水管道的供水管路；所述DIMax包括水箱和水泵；所述水箱包括与回水管路相连的进水口、所述水泵的进水口管道相连的出水口、与水泵的出水口管道相连的水泵出水口管道孔和与所述供水管路的外层供水管道相连的供水管路进水口。通过在供水管路外部加装防泄露管路，并将供水管的最低点设置在水箱里，并在最低点设置漏液检测传感器，一旦传感器检测到漏水，传感器会触发机台报警。当供水管路发生漏水时，由于供水管路外部装有防泄露管路，因此水流不会向四周喷射，并且发生的漏水会沿着管壁流回水箱，从而防止水泄露到机台以外位置。

技术领域

本实用新型涉及一种供水装置，尤其涉及一种防止DI Max漏水的供水装置。

背景技术

目前PVD机台全部安装DI Max，所述DIMax由水箱和水泵组成，为机台提供冷却水。由于DI Max供水管路的压力较高，供水管路时常会因为供水管路上的静电导致水管管壁出现小孔，从而出现小水流喷射现象。

实用新型内容

本实用新型所要解决的技术问题是针对现有技术的缺陷，提供一种能有效缓解水流喷射现象的防止DI Max漏水的供水装置。

本实用新型为解决上述技术问题采用以下技术方案：

一种防止DI Max漏水的供水装置，包括依次相连的机台腔体、回水管路、 DIMax和带内外双层供水管道的供水管路；所述DIMax包括水箱和水泵；所述水箱包括与回水管路相连的进水口、所述水泵的进水口管道相连的出水口、与水泵的出水口管道相连的水泵出水口管道孔和与所述供水管路的外层供水管道相连的供水管路进水口；所述出水口管道穿过所述水泵出水口管道孔并在水箱上表面内侧与所述双层供水管道的内层供水管道相连。

为了进一步优化上述技术方案，本实用新型所采取的技术措施为：

优选的，所述水箱与供水管路连接处为所述供水管路的最低点。

优选的，所述水箱的进水口、出水口、水泵出水口管道孔和供水管路进水口的管道连接处均为法兰连接。

优选的，所述双层供水管道内设内层供水管道与外层供水管道相连的支杆。

优选的，所述支杆为至少一个并沿圆周方向设置。

优选的，所述内层供水管道与外层供水管道间设置有滤网。

优选的，所述滤网为纺织纤维滤网。

优选的，所述供水管路于管路最低处设外层供水管道出水口。

优选的，所述外层供水管道出水口与所述水泵的进水口管道三通连接。

优选的，所述内层供水管道设不锈钢防压管套。

本实用新型采用以上技术方案，与现有技术相比，具有如下技术效果：

通过在供水管路外部加装防泄露管路，并将供水管的最低点设置在水箱里。当供水管路发生漏水时，由于供水管路外部装有防泄露管路，因此水流不会向四周喷射，并且发生的漏水会沿着管壁流回水箱，从而防止水泄露到机台以外位置。

附图说明

图1为原DI Max的供水装置的结构示意图；

图2为本实用新型的一种优选实施例的DI Max的供水装置结构示意图；

图3为本实用新型的一种优选实施例的水箱和水泵的结构示意图；

图4为本实用新型的一种优选实施例的水箱的结构示意图；

图5为本实用新型的一种优选实施例的双层供水管道的立体图；