[实用新型]一种激光器的功率检测装置

说明书

技术领域

本实用新型涉及激光检测设备领域，更具体的说是涉及一种激光器的功率检测装置。

背景技术

半导体激光器的额定功率大小是激光工艺参数的重要指标，只有合适的激光功率才能保障激光器和光路系统长时间稳定工作，同时也是实现最佳加工质量的决定因素，在现有的激光检测方法中一般通过选择采光片，将小部分的激光反射到激光检测器上，通过放大效果来避免干扰强光影响激光检测中的线性关系，现有的技术中一般选择采用能够过滤其他杂光并透过小于1％的激光的透光板，将截取的小于1％的激光反射到激光检测器内，来避免其他强光的干扰，由于透光板的技术要求较高，其设备制作费用较高，其透光板的表面通过镀膜进行分光或者同棱镜的排列角度进行分光，镀膜在激光长时间的照射下容易稳定下降，另外棱镜需要在特定角度下安装对激光进行分光，在安装时对棱镜的安装角度有着高精确度的要求，在确定激光截取率时，需要反复试验进行确定安装角度，在使用时，无论是激光头还是棱镜都容易出现偏移导致激光截取率的改变，进而导致检测结果并不精准，这样导致了透光板的稳定性较低，容易在透光板稳定性下降时，造成检测数据存在偏差，并且不具有自检能力。

实用新型内容

针对现有技术存在的不足，本实用新型的目的在于提供一种激光器的功率检测装置，其设备制作简单，并且廉价，并且稳定性较高。

为实现上述目的，本实用新型提供了如下技术方案：一种激光器的功率检测装置，包括功率检测组件，该功率检测组件包括有反光板和激光功率检测器，所述反光板将激光器发射的激光反射到激光功率检测器上进行功率检测，所述反光板周期性反射激光器的激光束，使得激光功率检测器周期性接收经反光板反射的激光。

其有益效果为：反光板相对透光板具有较好的稳定性，反光板设置在激光器发射光路的前方，反光板与激光器的激光束发射面形成的夹角和反光板与激光检测组件的接收面之间的夹角相等，使得光束路径通过反光板能够准确的投射到激光检测组件的接收面上，反光板接收的激光束反射到检测组件的接收面，反光板周期性反射激光器的激光束，通过驱动装置带动反光板出现在激光器发射光路前端，其驱动方式可以为带动反光板的在光路上下位置或者侧向位置上推拉或者带动反光板做经过光路的圆周运动，实现其将激光束以一定频率的能量传递给激光功率检测器，使其能够在单位时间内将少量的激光束传送给激光功率检测器，以减少激光功率检测器单位时间内所接收的能量，提高激光功率检测器的检测精度，替换了传统的分光镜在固定位置上反射少量的激光束进行检测激光器的功率，以避免使用分光镜由于其安装角度或者不同测试件25以不同角度出射的激光、不同波长的激光或者在其表面镀膜的不稳定导致的误差。

作为本实用新型的进一步改进，所述激光器的激光束与反光板的接收平面呈45度，且所述反光板的接收平面与激光功率检测器的接收平面呈45度。

其有益效果为：通过将激光器的激光束与反光板的接收平面和激光功率检测器的接收平面呈45度，使得激光束的反射路线最短，以减少激光束在反射过程中的能量损耗。

作为本实用新型的进一步改进，所述激光功率检测器包括依次排列贴合的导热片、半导体制冷片和恒温基座，该恒温基座保持恒定温度。

其有益效果为：激光束散射到导热片上，产生热量，恒温基座保持温度恒定，通过导热片与恒温基座之间形成温差使半导体制冷片形成电流差，其电流差通过数据转换能够的计算出激光束的功率。

作为本实用新型的进一步改进，所述恒温基座为制冷散热箱，该制冷散热箱包括有外壳体，该外壳体为导热壳体，所述外壳体设置有进水口和出水口，所述外壳体内设置有与进水口和出水口相通的容纳腔，该进水口连接冷凝水管，该出水口连接有回流管，所述进水口设置有电磁阀，所述外壳体上设置有温度感应器，该温度感应器与电磁阀耦接，控制电磁阀保证恒温基座保持恒定温度。

其有益效果为：其制冷散热箱连接制冷容纳腔，通过冷凝水的回流连接对恒温基座进行控温，恒温基座与半导体制冷片相贴，恒温基座控制半导体制冷片的温度恒定，在外壳体上设置有实时监测温度的温度传感器，通过在进水口设置电磁阀与温度传感器的耦接，实现对外壳体的温度实时反馈调节，保持恒温基座的温度恒定，使得检测结果的精确度更高，当导热片接收的激光束越强时，其温度越高，和恒温基座的温差值越大，由塞贝克效应可知其电流会越大。

作为本实用新型的进一步改进，反光板的后端连接有驱动装置，所述驱动装置带动反光板匀速转动。

其有益效果为：反光板通过驱动装置转动，使得反光板在特定的角速度下匀速转动，使其平稳的以特定的频率出现在激光光束前端。