[实用新型]一种基于TPoS谐振器的温度计

权利要求书

1.一种基于TPoS谐振器的温度计，包括两个TPoS谐振器、三个运算放大器、混频器、低通滤波器、频率电压转换器、负载电阻；其特征在于：

第一TPoS谐振器(11)的一端接第一运算放大器(21)的输入端，第一TPoS谐振器(11)的另一端和第一运算放大器(21)的输出端接混频器(3)的一个输入端；第二TPoS谐振器(12)的一端接第二运算放大器(22)的输入端，第二TPoS谐振器(12)的另一端和第二运算放大器(22)的输出端接混频器(3)的另一个输入端；混频器(3)的输出端接低通滤波器(4)的输入端，低通滤波器(4)的输出端接频率电压转换器(5)的输入端，频率电压转换器(5)的输出端接第三运算放大器(23)的输入端，负载电阻(6)的一端接地，第三运算放大器(23)的输出端与负载电阻(6)的另一端相接，作为温度示数输出端；

所述的第一运算放大器(21)和第二运算放大器(22)采用相同的运算放大器电压放大特性一致；

所述的第一TPoS谐振器(11)和第二TPoS谐振器(12)处于同一硅基片上；两个TPoS谐振器的准静止中轴的夹角为θ，0°＜θ＜90°；两个TPoS谐振器的单晶硅谐振块长度分别为L₁和L₂，L₁≠L₂。

2.如权利要求1所述的一种基于TPoS谐振器的温度计，其特征在于：所述的第一TPoS谐振器(11)和第二TPoS谐振器(12)均工作在侧向扩张-收缩的振动模态，且两个TPoS谐振器除了单晶硅谐振块长度不同以外，其余结构尺寸完全相同。

3.如权利要求1所述的一种基于TPoS谐振器的温度计，其特征在于：所述的第一运算放大器(21)、第二运算放大器(22)、第三运算放大器(23)、混频器(3)、低通滤波器(4)、频率电压转换器(5)和负载电阻(6)组成的外围匹配电路，由分立元器件通过印刷电路板电路实现，或通过CMOS技术与TPoS谐振器集成在同一芯片上。