[实用新型]低温流体供应装置

说明书

技术领域

本实用新型是有关于一种流体供应装置，尤其是关于一种低温流体供应装置。

背景技术

半导体产品出货前，会进行许多测试，以确认半导体产品转交给消费者后，能否正常工作。其中，环境测试是不可避免的测试项目。

上述环境测试项目中，具有一低温环境测试，是将环境温度大幅降低，甚至将温度降低至零下50～100度以下，再对该半导体产品进行电子测试、外观检测等多种测试，以确认该半导体产品是否耐寒。

上述产生低温技术如使用压缩机来降低温度，将会耗费大量电力，甚至无法将环境温度下降至所需温度。因此目前都以注入液态氮(LN2，Liquid Nitrogen)的方式，来快速产生低温的环境温度，以使测试装置于低温环境对该半导体产品进行测试制程。

但是液态氮的使用会产生更换空瓶的问题，当空的容器卸下，再设置装填液态氮的容器的期间，是无法产生低温环境，并且无法对该半导体产品进行低温测试，对于制程紧凑的半导体制程，无疑是一项制程的损失。

因此，如何将低温环境持续维持，进一步提升半导体产品的低温测试的产量，避免造成半导体制程的损失，是相关技术人员亟需努力的目标。

实用新型内容

有鉴于此，本实用新型的一目的是在于提供一种低温流体供应装置，适用于持续供应一流体至一装置，其包含一储存单元、一传输单元、一侦测单元，及一控制单元。

该储存单元包括数个储存槽体，用以储存该流体。

该传输单元包括数个分别与该数个储存槽体连接的传输管件，以将储存于该数个储存槽体的流体输出至该装置。

该侦测单元包括数个测压组件，用以分别侦测储存于该数个储存槽体的流体的压力。

该控制单元包括一与该数个测压组件电连接的控制器，及数个与该控制器电连接的阀体构件，该数个阀体构件分别设置于该数个传输管件，以控制该数个传输管件中的流体是否对外输出。

本实用新型的又一技术手段，是在于上述的低温流体供应装置还包含一移动单元，该移动单元包括一移动平台，用以承载该数个储存槽体。

本实用新型的另一技术手段，是在于上述的移动单元还包括一加热构件，用以对该数个储存槽体加热。

本实用新型的再一技术手段，是在于上述的控制单元还包括一与该控制器电连接的警示构件，以显示该数个储存槽体储存该流体的状态。

本实用新型的又一技术手段，是在于上述的传输单元还包括数个压力调整构件，用以分别控制该数个传输管件对外输出的流体的压力。

本实用新型的另一技术手段，是在于上述的移动单元还包括一设置于该移动平台的手握构件。

本实用新型的再一技术手段，是在于上述的移动单元还包括至少一与该移动平台连接的承载台。

本实用新型的又一技术手段，是在于上述的移动单元还包括至少一设置于该移动平台与该承载台之间的管路通孔。

本实用新型的另一技术手段，是在于上述的控制器具有一信息收发模块。

本实用新型的再一技术手段，是在于上述的传输管件的材质为黄铜。

本实用新型的有益功效在于，该数个测压组件以压力来侦测该数个储存槽体中的流体的储存量，自动将空的储存槽体切换成装满该流体的储存槽体，以维持该流体的供应量，使该装置不间断地接收该流体。

附图说明

图1是本实用新型低温流体供应装置的一较佳实施例的连接形态的示意图；

图2是图1所示的较佳实施例的一控制单元的示意图；

图3是图1所示的较佳实施例的一移动单元的示意图。

图中符号表示：

2 流体；3 装置；4 储存单元；41 储存槽体；5 传输单元；51 传输管件；52 压力调整构件；6 侦测单元；61 测压组件；7 控制单元；71 控制器；711 信息收发模块；72 阀体构件；73 警示构件；8 移动单元；81 移动平台；82 加热构件；83 手握构件；84 承载台；85 管路通孔。

具体实施方式

有关本实用新型的相关申请专利特色与技术内容，在以下配合参考图式的较佳实施例的详细说明中，将清楚地呈现。

参阅图1、2、3所示，为本实用新型一种低温流体供应装置的一较佳实施例，包含一储存单元4、一传输单元5、一侦测单元6、一控制单元7，及一移动单元8。