[实用新型]一种用于液相放电产生等离子体的高压脉冲电源

权利要求书

1.一种用于液相放电产生等离子体的高压脉冲电源，其特征在于，该脉冲电源包括直流高压发生电路、高压逆变主电路和高压逆变控制电路，所述直流高压发生电路的高压源输出端与高压逆变主电路的电源输入端连接，所述高压逆变控制电路与高压逆变主电路的控制端连接，所述高压逆变主电路中的功率开关器件由多个功率IGBT管串联构成。

2.根据权利要求1所述的一种用于液相放电产生等离子体的高压脉冲电源，其特征在于，所述直流高压发生电路包括依次连接的调压整流电路、低压逆变电路和脉冲升压电路，所述调压整流电路包括工频电源和移相器，所述低压逆变电路包括隔离变压器、触发器和晶闸管，所述脉冲升压电路包括整流输出电路。

3.根据权利要求2所述的一种用于液相放电产生等离子体的高压脉冲电源，其特征在于，所述低压逆变电路为全桥逆变电路，该全桥逆变电路通过两组相位相反的驱动脉冲分别控制两对开关管。

4.根据权利要求3所述的一种用于液相放电产生等离子体的高压脉冲电源，其特征在于，所述全桥逆变电路包括电阻R1、电阻R2、开关管V1、开关管V2、开关管V3和开关管V4，所述电阻R1依次串联开关管V1、开关管V2和电阻R2，所述开关管V3的一端连接在电阻R1与开关管V1之间、另一端串联开关管V4后连接在电阻R2与开关管V2之间。

5.根据权利要求1所述的一种用于液相放电产生等离子体的高压脉冲电源，其特征在于，所述高压逆变主电路包括多级充放电的串联功率开关管输出电路，该多级充放电的串联功率开关管输出电路包括电阻R1、电阻R2、电阻R3、电阻R4、电阻R5、电阻R6、电容C1、电容C2、电容C3、电容C4、电容C5、电容C6和多个功率IGBT管；所述电阻R5与电容C5、电容C6、电阻R6串联；所述电阻R3的一端连接在电阻R5与电容C5之间、另一端依次连接电容C3、电容C4、电阻R4，电阻R4的另一端连接在电容C6与电阻R6之间；所述电阻R1的一端连接在电阻R3与电容C3之间、另一端依次连接电容C1、电容C2、电阻R2，电阻R2的另一端连接在电容C4与电阻R4之间；所述多个功率IGBT管依次串联后，一端连接在电阻R1与电容C1之间、另一端连接在电容C2与电阻R2之间。

6.根据权利要求5所述的一种用于液相放电产生等离子体的高压脉冲电源，其特征在于，各功率IGBT管的门极均引出抽头。

7.根据权利要求6所述的一种用于液相放电产生等离子体的高压脉冲电源，其特征在于，所述抽头串连有熔断器。