[实用新型]流体加热器的结构

说明书

技术领域

本实用新型涉及一种流体加热器的结构。

背景技术

于半导体制程中常有会需要对流体(如反应气体等)加热，以提升反应速度、混合速度、或扩散速度等的情况，且为了能让流体能够于处理装置内妥善散开，将一连接件连通设置于处理装置中央处，以减少处理设备内壁对流体散开造成妨碍，让流体从连接件进入处理装置后能自然往周遭散开。

请参阅图1所示，为习用直线加热器的实施示意图，由图中可清楚看出习用直线加热器具有一呈直线态样的直管91，且直管91通过连接件92与处理装置93连通；但经实际使用后发现因对流体进行加热需要一定长度的加热行程(距离)，才能确保流体的温度提升到目标温度，所以习用直线加热器体积具有一定程度的长度难以缩小，故习用直线加热器于安装设置上会凸出处理装置且需要占据厂房许多空间，亦或习用直线加热器的体积受到厂房空间的大小限制，仅能选用加热行程(距离)较短的款式。

所以，要如何解决上述习用的问题与缺失，即为本实用新型的申请人与从事此行业的相关厂商所亟欲研究改善的方向所在。

故，本实用新型的申请人鉴于上述缺失，乃搜集相关资料，经由多方评估及考虑，并以从事于此行业累积的多年经验，经由不断试作及修改，终设计出本实用新型。

实用新型内容

本实用新型的目的在于提供一种节省设置所需空间，且确保加热效果的流体加热器的结构。

基于此，本实用新型主要采用下列技术手段，来实现上述目的。

一种流体加热器的结构，包括：一流通管体，该流通管体与一设于一处理设备中央处的连接器相连通，且该流通管体包含有至少一直线部、及至少一连通设置于该直线部与该连接器间的弯曲部，该弯曲部的弯曲角度介于30度至180度之间，并该弯曲部位置对应于该处理设备的边缘内；至少一第一流通部，该第一流通部设于该直线部背离该弯曲部的端处且与其连通；至少一第二流通部，该第二流通部设于该弯曲部背离该直线部的端处，且与该弯曲部、及该连接器连通；及至少一加热装置，该加热装置设于该流通管体内。

进一步，该第一流通部上设有至少一第一连结接头。

进一步，该第二流通部上设有至少一第二连结接头。

进一步，该直线部背离该弯曲部的端处设有至少一供设置该加热装置的组装部，且该加热装置延伸设置于该直线部、及该弯曲部内。

进一步，该直线部背离该弯曲部的端处设有至少一第一装设部，该第一装设部上设有至少一第一感温装置。

进一步，该弯曲部背离该直线部的端处设有至少一第二装设部，该第二装设部上设有至少一第二感温装置。

进一步，该流通管体上设有至少一固定部。

进一步，该弯曲部呈圆弧状、波浪状、或不规则状其中之一。

进一步，该直线部的内径和该弯曲部的内径大于该第一流通部的内径和该第二流通部的内径。

本实用新型通过弯曲部的结构设计使流通管体的体积(最大长度)得以缩小，所以可节省设置所需空间让安装设置更为自由方便，且于使用过程中流体会从第一流通部流经直线部和弯曲部后从第二流通部流出，同时流体会于流通管体内受到加热装置的持续加热，通过弯曲部的结构设计来增加流体于流通管体内的流动行程及时间，进而有效对流体进行加热及确保加热效果，借由上述技术，可针对习用直线加热器所存在的体积难以缩小需占许多空间，且选用受限的问题点加以突破，达到节省设置所需空间，且确保加热效果的实用性和进步性。

附图说明

图1为习用直线加热器的实施示意图。

图2为本实用新型较佳实施例的立体结构示意图（一）。

图3为本实用新型较佳实施例的立体结构示意图（二）。

图4为本实用新型较佳实施例的平面结构示意图。

图5为本实用新型图2的A-A线段剖面示意图。

图6为本实用新型较佳实施例的实施示意图。

图7为本实用新型较佳实施例的流动示意图。

【符号说明】

[习用]

直管91 连接件92

处理装置93

[本实用新型]

流通管体1直线部11

第一流通部111第一连结接头112

组装部113第一装设部114

弯曲部12 第二流通部121

第二连结接头122第二装设部123

固定部13 加热装置2

第一感温装置31 第二感温装置32

处理设备4连接器41。