[实用新型]一种用于PCB生产的平行光曝光装置有效
申请号: | 201720798772.3 | 申请日: | 2017-07-04 |
公开(公告)号: | CN206877037U | 公开(公告)日: | 2018-01-12 |
发明(设计)人: | 胡波 | 申请(专利权)人: | 健鼎(湖北)电子有限公司 |
主分类号: | G03F7/20 | 分类号: | G03F7/20 |
代理公司: | 北京天奇智新知识产权代理有限公司11340 | 代理人: | 李艳双 |
地址: | 433000 湖北*** | 国省代码: | 湖北;42 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 用于 pcb 生产 平行 曝光 装置 | ||
1.一种用于PCB生产的平行光曝光装置,包括曝光室(1),其特征在于:所述曝光室(1)的底部安装有发光光源(2),且发光光源(2)的发光部延伸至曝光室(1)的内腔并套接有椭圆反射镜(3),所述椭圆反射镜(3)的正上方设有具有一定倾斜角度的冷却镜(4),所述冷却镜(4)的右侧设有可移动目镜(5),且可移动目镜(5)通过移动板与曝光室(1)的内腔底部连接,所述可移动目镜(5)的右上方设有抛物面镜(6),所述抛物面镜(6)的正下方设有照射板(7),且照射板(7)位于曝光室(1)的内腔底部。
2.根据权利要求1所述的一种用于PCB生产的平行光曝光装置,其特征在于:所述可移动目镜(5)为工作波长1064nm的聚焦镜。
3.根据权利要求1所述的一种用于PCB生产的平行光曝光装置,其特征在于:所述抛物面镜(6)为内凹型的曲面反射镜。
4.根据权利要求1所述的一种用于PCB生产的平行光曝光装置,其特征在于:所述冷却镜(4)的反射光角度与可移动目镜(5)的入射光角度相同。
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