[实用新型]防静电装置

说明书

技术领域

本实用新型涉及一种防静电技术，尤其是涉及一种通过改变纯水的阻抗质来实现防静电的装置。

背景技术

基板制程生产过中，常需要使用大量超纯水，超纯水本身具有高阻抗(即低导电度)特性，于管路中输送摩擦及制程中皆会产生静电，静电会造成基板上的线路受损，进而导致良率降低，必须依靠专用的纯水改质机降低阻抗质。

现有降低基板静电需依赖厂商生产的专用机，体积较大，且故障维修需依赖厂商。

实用新型内容

本实用新型的目的在于克服现有技术的缺陷，提供一种防静电装置，通过改变纯水的阻抗质来实现防静电。

为实现上述目的，本实用新型提出如下技术方案：一种防静电装置，包括入水管路、出水管路和入气管路，所述出水管路与入水管路和入气管路均相连，所述入水管路和入气管路分别输入液体和气体到出水管路内混合，所述入水管路将混合后液体和气体输送出去。

优选地，还包括设置在入气管路上的逆止阀。

优选地，还包括设置在出水管路内的液气混合器。

优选地，所述入水管路的一端为入水口，另一端与入气管路和出水管路相通。

优选地，所述入气管路一端为入气接头，另一端与入水管路和出水管路相通。

优选地，所述出水管路一端与入水管路和入气管路相通，另一端为出水口。

优选地，所述入水管路、出水管路和入气管路呈T型分布。

优选地，所述入水管路、出水管路两者呈直线分布且相通，所述入气管路接入两者中间且与两者垂直。

优选地，所述入水管路输入的液体为纯水。

优选地，所述入气管路输入的气体为CO₂。

本实用新型的有益效果是：

1、通过在纯水中通入二氧化碳气体，降低了纯水的阻抗，即防止纯水管路中输送的摩擦及制程中产生的静电，从而避免基板上的线路因静电受损，提高基板良率，替基板制造设备流出更多的维修保养空间，降低材料成本。

2、本实用新型可自行装配生产，无需依靠专用的纯水改质机来降低纯水阻抗，节省设备空间，降低生产成本与维修保养便利。

附图说明

图1是本实用新型防静电装置的结构示意图。

附图标记：

1、入水管路，2、入水口，3、入气管路，4、入气接头，5、出水管路，6、出水口，7、逆止阀，8、液气混合器。

具体实施方式

下面将结合本实用新型的附图，对本实用新型实施例的技术方案进行清楚、完整的描述。

本实用新型实施例所揭示的一种防静电装置，主要用于在基板制程过程中，用超纯水输送管路的使用环境下，通过降低纯水阻抗，从而减少制程过程中静电的产生。

如图1所示，所述防静电装置包括入水管路1、入水口2、入气管路3、入气接头4、出水管路5和出水口6，入水管路1一端与出水管路5和入气管路3相通，用于输入液体到出水管路5中，本实施例中为输入超纯水，入水口2设置在入水管路1的另一端，超纯水通过该入水口2进入入水管路1中。

入气管路3一端与出水管路5和入水管路1相通，入气接头4设置在入气管路3的另一端。入气管路3用于输入气体给出水管路5，提供气体输送的方向；入气接头4为气体的进入位置，用于接入相应的气源。本实施例中，输入的气体为CO₂，因CO₂为绝缘气体，与纯水混合后，可以降低纯水的阻抗，防止纯水输送过程中静电的产生。实际应用中，不限于使用CO₂气体，其他绝缘性气体也可适用于本实用新型。

优选地，为了防止超纯水在输送过程中进入到入气管路3内，在入气管路3上设置一逆止阀7，逆止阀7是为了防止纯水倒灌至CO₂管路中。

出水管路5一端与入气管路3和入水管路1相通，出水口6设置在出水管路5的另一端。出水管路5用于输出混合有CO2纯水出去，提供混合有CO2纯水输送的方向。

优选地，在出水管路5内设置一液气混合器8，用于加速纯水和CO2的混合。

本实施例中，入水管路1、出水管路5和入气管路3呈T型分布。具体地，入水管路1、出水管路5两者呈直线分布且相通，入气管路3接入两者中间且与两者垂直。当然，实际应用中，三者不一定是这里的T型分布，形成的其他形状也适用于本实用新型，只要能实现三者的相通即可。

本实用新型通过对基板加工设备进行结构的优化，进而达到降低阻抗的功能，并可自行装配生产，节省设备空间，降低生产成本与维修保养便利。

本实用新型的技术内容及技术特征已揭示如上，然而熟悉本领域的技术人员仍可能基于本实用新型的教示及揭示而作种种不背离本实用新型精神的替换及修饰，因此，本实用新型保护范围应不限于实施例所揭示的内容，而应包括各种不背离本实用新型的替换及修饰，并为本专利申请权利要求所涵盖。