[实用新型]一种用于蓝宝石晶片加工的研磨液喷洒装置有效
申请号: | 201720787590.6 | 申请日: | 2017-06-30 |
公开(公告)号: | CN207155572U | 公开(公告)日: | 2018-03-30 |
发明(设计)人: | 刘晓强 | 申请(专利权)人: | 青岛嘉星晶电科技股份有限公司 |
主分类号: | B24B57/02 | 分类号: | B24B57/02 |
代理公司: | 青岛发思特专利商标代理有限公司37212 | 代理人: | 巩同海 |
地址: | 266114 山*** | 国省代码: | 山东;37 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 用于 蓝宝石 晶片 加工 研磨 喷洒 装置 | ||
【权利要求书】:
1.一种用于蓝宝石晶片加工的研磨液喷洒装置,其特征在于,包括研磨液瓶(1)、流液管(2)、蠕动泵(3)、供气管(4)和研磨液暂存器(5),流液管(2)的进液口伸入研磨液瓶(1)中,出液口穿过蠕动泵(3)伸入研磨液暂存器(5)中,出液口上设置有单向止流阀(6),供气管(4)一端连通高压气,另一端伸入研磨液暂存器(5)中,供气管(4)上设置有数控气阀(7),研磨液暂存器(5)底部设置有自力式截止阀(8)和喷头(9)。
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