[实用新型]一种酸洗硅料的设备

说明书

本实用新型公开了一种酸洗硅料的设备，包括硅料处理装置、导轨和悬臂吊具，其中，硅料处理装置包括预冲洗装置、酸洗装置、纯水装置、超声波装置和干燥装置，待清洗的硅料依次经过预冲洗装置、酸洗装置、纯水装置、超声波装置和干燥装置，实现对待清洗硅料的清洗。本申请中的导轨依次连接预冲洗装置、酸洗装置、纯水装置、超声波装置和干燥装置，并在导轨上设置可沿导轨移动的悬臂吊具，该悬臂吊具用于悬挂硅料，在导轨上移动实现对硅料的运输，不需要操作者搬运，从而降低了操作者的劳动强度。

技术领域

本实用新型涉及半导体材料技术领域，具体的说，涉及一种酸洗硅料的设备。

背景技术

高纯硅料是半导体和太阳能行业的基础原料，在使用前需要对其表面进行清洗，此外在各自的生产过程中产生的边角料也需要清洗再作为原料回炉。清洗共分为多个工序，常规的清洗使用氢氟酸和硝酸的混合溶液，大部分为人工将需要清洗的原料通过搬运至各个清洗工位进行清洗，导致劳动者的劳动强度大。

因此，如何提供一种酸洗硅料的设备，降低操作者的劳动强度，是本领域技术人员目前需要解决的技术问题。

实用新型内容

有鉴于此，本实用新型提供了一种酸洗硅料的设备，降低操作者的劳动强度。

为实现上述目的，本实用新型提供如下技术方案：

一种酸洗硅料的设备，其包括：

硅料处理装置，所述硅料处理装置包括：预冲洗装置，所述预冲洗装置用于对硅料进行预冲洗；酸洗装置，所述酸洗装置用于对预冲洗后的硅料进行酸洗；纯水装置，所述纯水装置用于对酸洗后的硅料进行纯水清洗；超声波装置，所述超声波装置用于对纯水清洗后的硅料进行超声波清洗；干燥装置，所述干燥装置用于对超声波清洗后的硅料进行干燥；

导轨，所述导轨依次连接所述硅料处理装置的预冲洗装置、酸洗装置、纯水装置、超声波装置和干燥装置；

用于悬挂硅料的悬臂吊具，所述悬臂吊具可沿所述导轨移动且能够使所述硅料进入所述硅料处理装置。

优选地，上述的设备中，所述预冲洗装置、所述酸洗装置、所述纯水装置、所述超声波装置、所述干燥装置和所述导轨均集成在同一工作台上。

优选地，上述的设备中，所述酸洗装置的酸性清洗液为氢氟酸和硝酸的混合溶液。

优选地，上述的设备中，所述工作台上还设置有对所述酸性清洗液进行配比的配比装置。

优选地，上述的设备中，所述悬臂吊具通过丝杠与所述导轨连接，所述悬臂吊具可沿所述丝杠的轴线方向移动以调节硅料与所述硅料处理装置的距离。

优选地，上述的设备中，所述干燥装置为加热烘干机。

优选地，上述的设备中，所述干燥装置的加热温度为50℃-100℃。

经由上述的技术方案可知，本实用新型公开了一种酸洗硅料的设备，包括硅料处理装置、导轨和悬臂吊具，其中，硅料处理装置包括预冲洗装置、酸洗装置、纯水装置、超声波装置和干燥装置，待清洗的硅料依次经过预冲洗装置、酸洗装置、纯水装置、超声波装置和干燥装置，实现对待清洗硅料的清洗。本申请中的导轨依次连接预冲洗装置、酸洗装置、纯水装置、超声波装置和干燥装置，并在导轨上设置可沿导轨移动的悬臂吊具，该悬臂吊具用于悬挂硅料，在导轨上移动实现对硅料的运输，不需要操作者搬运，从而降低了操作者的劳动强度。

附图说明

为了更清楚地说明本实用新型实施例或现有技术中的技术方案，下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本实用新型的实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据提供的附图获得其他的附图。