[实用新型]一种真空下用于纳米颗粒制备的冷却装置有效
| 申请号： | 201720755090.4 | 申请日： | 2017-06-27 |
| 公开（公告）号： | CN207035643U | 公开（公告）日： | 2018-02-23 |
| 发明（设计）人： | 何峻;夏振军;欧修龙;赵栋梁 | 申请（专利权）人： | 钢铁研究总院 |
| 主分类号： | F25D17/02 | 分类号： | F25D17/02;C23C14/35 |
| 代理公司： | 北京中安信知识产权代理事务所(普通合伙)11248 | 代理人： | 李彬,张小娟 |
| 地址： | 100081 *** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 真空 用于 纳米 颗粒 制备 冷却 装置 | ||
【权利要求书】：
1.一种真空下用于纳米颗粒制备的冷却装置，设置于溅射靶(11)的溅射区域外部；该冷却装置为中空圆柱体，包括冷却室外壁(3)和冷却室内壁(4)；在冷却室外壁(3)和冷却室内壁(4)构成的冷却室前端，设置有进液口(1)和出液口(2)，其特征在于：
所述冷却室外壁(3)和冷却室内壁(4)之间设置有中间隔板(5)，中间隔板(5)将冷却室分割为内冷却室(9)和外冷却室(10)；
内冷却室(9)和/或外冷却室(10)内有使冷却液形成螺旋形循环路径的螺旋导流板。
2.根据权利要求1所述的真空下用于纳米颗粒制备的冷却装置，其特征在于：所述内冷却室(9)与外冷却室(10)通过冷却室末端的导流通道(6)连通。
3.根据权利要求1所述的真空下用于纳米颗粒制备的冷却装置，其特征在于：所述进液口(1)与内冷却室(9)连通；所述出液口(2)与外冷却室(10)连通。
4.根据权利要求1所述的真空下用于纳米颗粒制备的冷却装置，其特征在于：所述内冷却室(9)内设有内层螺旋导流板(7)。
5.根据权利要求1所述的真空下用于纳米颗粒制备的冷却装置，其特征在于：所述外冷却室(10)内设有外层螺旋导流板(8)。
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