[实用新型]一种压电麦克风

权利要求书

1.一种压电麦克风，其特征在于：包括具有背腔的衬底(1)，以及通过绝缘层(2)连接在衬底(1)上方的压电膜；所述压电膜上设置有至少一条贯穿其上下两端的狭槽；还包括位于背腔中且连接在所述衬底(1)上的阻挡部(7)，所述阻挡部(7)位于狭槽的下方，且沿着狭槽的走向进行延伸；所述阻挡部(7)与压电膜的狭槽之间具有间隙(8)。

2.根据权利要求1所述的压电麦克风，其特征在于：所述阻挡部(7)与衬底(1)采用相同的材料，二者一体成型。

3.根据权利要求1所述的压电麦克风，其特征在于：所述狭槽至少设置有两条，其中至少一条狭槽位于压电膜的中心区域，至少一条狭槽位于压电膜的边缘区域；位于压电膜中心区域的狭槽与阻挡部(7)配合在一起，且二者之间具有间隙(8)；位于压电膜的边缘区域的狭槽与衬底(1)重叠在一起，且二者之间形成间隙。

4.根据权利要求3所述的压电麦克风，其特征在于：所述狭槽设置有三条，分别记为位于压电膜相对两侧边缘位置的第一狭槽(11)、第二狭槽(12)，以及位于压电膜中心区域并连通所述第一狭槽(11)、第二狭槽(12)的第三狭槽(10)；所述第一狭槽(11)、第二狭槽(12)、第三狭槽(10)呈工字形。

5.根据权利要求1所述的压电麦克风，其特征在于：所述狭槽呈矩形、圆形、X形、Y形、十字形或米字形。

6.根据权利要求1所述的压电麦克风，其特征在于：所述阻挡部(7)的下端面与衬底(1)的下端面齐平。

7.根据权利要求1所述的压电麦克风，其特征在于：所述阻挡部(7)的下端面高于所述衬底(1)的下端面。

8.根据权利要求1所述的压电麦克风，其特征在于：所述压电膜依次包括复合在一起的第一电极层(4)、压电材料中间层(3)、第二电极层(5)。

9.根据权利要求8所述的压电麦克风，其特征在于：所述第一电极层(4)、压电材料中间层(3)、第二电极层(5)通过沉积的方式复合在一起。

10.根据权利要求1所述的压电麦克风，其特征在于：所述压电麦克风为MEMS压电麦克风。