[实用新型]一种多频扫描探针声学显微镜系统有效
| 申请号： | 201720693515.3 | 申请日： | 2017-06-14 |
| 公开（公告）号： | CN206848303U | 公开（公告）日： | 2018-01-05 |
| 发明（设计）人： | 吴浚瀚 | 申请（专利权）人： | 广州市本原纳米仪器有限公司 |
| 主分类号： | G01Q60/00 | 分类号： | G01Q60/00;G01N29/06;G01N29/44 |
| 代理公司： | 广州嘉权专利商标事务所有限公司44205 | 代理人： | 胡辉 |
| 地址： | 510070 广东省广州市先*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 扫描 探针 声学 显微镜 系统 | ||
1.一种多频扫描探针声学显微镜系统，其特征在于：包括多个声学信号源、多路信号叠加模块、声学换能器、扫描器、微悬臂探针、光电检测系统、多个相干检测解调模块和扫描探针显微镜控制系统，各所述声学信号源的输出端与多路信号叠加模块的输入端连接，所述多路信号叠加模块的输出端与声学换能器的输入端连接，所述声学换能器位于样品的底部以及扫描器的上方，所述光电检测系统的输出端分别与扫描探针显微镜控制系统的输入端以及各所述相干检测解调模块的信号输入端连接，各所述相干检测解调模块的参考源输入端与各所述声学信号源的输出端对应连接，各所述相干检测解调模块的输出端与描探针显微镜控制系统的输入端连接，所述扫描探针显微镜控制系统的输出端与扫描器的输入端连接。
2.根据权利要求1所述的一种多频扫描探针声学显微镜系统，其特征在于：所述扫描探针显微镜控制系统包括低通滤波器、反馈控制模块、多个样品声学信号图显示模块、样品表面形貌图显示模块，所述低通滤波器的输入端与光电检测系统的输出端连接，所述低通滤波器的输出端与反馈控制模块的输入端连接，所述反馈控制模块的输出端分别与样品表面形貌图显示模块的输入端以及扫描器的输入端连接，各所述声学信号图显示模块的输入端与各相干检测解调模块的输出端对应连接。
3.根据权利要求2所述的一种多频扫描探针声学显微镜系统，其特征在于：所述扫描探针显微镜控制系统还包括声学信号融合模块和声学信号融合图像显示模块，所述声学信号融合模块的输入端分别与各相干检测解调模块的输出端连接，所述声学信号融合模块的输出端与声学信号融合图像显示模块的输入端连接。
4.根据权利要求3所述的一种多频扫描探针声学显微镜系统，其特征在于：所述多路信号叠加模块或声学信号融合模块为由运算放大器、电阻和电容构成的加法电路。
5.根据权利要求2所述的一种多频扫描探针声学显微镜系统，其特征在于：所述反馈控制模块由TMS320DM642芯片和外围电路组成。
6.根据权利要求1-5任一项所述的一种多频扫描探针声学显微镜系统，其特征在于：所述光电检测系统包括激光器和四象限接收器，所述四象限接收器的输出端分别与扫描探针显微镜控制系统的输入端以及各所述相干检测解调模块的信号输入端连接。
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